光电技术（第2版）李岩-第2章光电探测器2.pptxVIP

第二章 光电探测器2-4 光生伏特器件; 一、光电池;（一）结构原理;;注意： 1、上、下电极区分 2、上电极栅指状目的 3、受光表面涂保护膜的目的;工作原理 当光作用于PN节时，耗尽区内的光生电子与空穴在内建电场力的作用下分别向N区和P区运动，在闭合的电路中产生输出电流IL，且在负载电阻上产生电压降U。; （二）光电池的分类 （1）按材料 硅光电池：光谱响应宽，频率特性好 硒光电池：波谱峰值位于人眼视觉内 薄膜光电池：CdS增强抗辐射能力 紫光电池：PN结0.2~0.3 μm，短波峰值600nm 按基底材料不同分 2DR（P型Si为基底） 2CR（N型Si为基底）;（2）按结构分 阵列式：分立的受光面 象限式：参数相同的独立光电池 硅蓝光电池：PN结距受光面很近 阵列式 象限式;（3）按用途分 太阳能光电池：用作电源（效率高，成本低） 测量用光电池：探测器件（线性、灵敏度高等） ;（三）符号及电路;;2、伏安特性：光电流与电压的关系。 ;3、输出功率; ;5、光谱特性：电路电流随波长变化情况 取决于所用材料与工艺 ;6、温度特性： ;（五）应用; 2、光电池用作检测元件 利用其光敏面大，频率响应高，光电流与照度线性变化，适用于开关和线性测量等。 ;3 、光电池零伏偏置电路;（六）硅光电池组合件 将几个光电池排成一行，集成在一块集成电路片子上，即成为阵列式的一维光电器件，也可以将几个光电池制成象限式的二维光电器件。 ??? 这时衬底是共用的，而各光敏元都是独立的，分别有各自的前极引出线。这种器件的特点是，光敏元密集度大，总尺寸小，容易作到各单元多数一致，便于信号处理。 ;2个并列的光电池可用来辨别光点移动的方向。 2～4个并列的光敏元，可用来收集光点移动的相位信息。 象限式光电器件可用来确定光点在二维平面上的位置坐标。多用于准直、定位、跟踪或频谱分析等方面。;;象限光电池组合件示意图;光斑中心位置的2象限检测电路;应用实例：光斑中心位置的4象限硅光电池检测;输出的偏离信号分别为;（2）直差电路 4象限硅光电池的坐标线与基准线成45°时，常采用直差电路。;象限测量存在的问题 光刻分割区有盲区，微小光斑受限制。 测量范围受限制，光斑不能全部落入某一象限。 测量精度受光强漂移影响。 非线性（常做为对准、瞄准用）。; 二、 光电二极管; 2、与光电池相比： 共同点：均为一个PN结，利用光生伏特效应， SiO2 保护膜 不同点： （1）结面积比光电池的小，频率特性好； （2）光生电势与光电池相同，但电流比光电池小； （3）可在零偏压下工作，更常在反偏压下工作。;（一）基本结构与原理;光电二极管的电流方程 PN结的电流方程为; （二）性能参数 光照下PN结电压与光电流之间 关系 ;（1）伏安特性 反向偏压与光电流之间的关系 ;（2）光照特性：光电流与照度的关系 15V反向偏压时的光照特性曲线 ;（3）光谱特性 影响因素： 材料：禁带宽度 设计工艺：PN结深度及表面处理 ; （4）暗电流与噪声 在直流偏压下，暗电流是噪声的主要来 源； 暗电流主要包括反向饱和电流，势垒区的复合（或产生）电流以及表面漏电流。 环极的作用是：克制由于SiO2保护膜中的杂质正离子静电感应。 ;（5）频率特性 是半导体光电器件中最好的一种，与下列因素有关： 结电容（小于20μμF) 和杂散电容 光生载流子在薄层中的扩散时间及PN结中的漂移时间 ; 要提高频率响应必须做到以下几点： （1）合理的结面积（小的结面积可使Cj减小，但相同光照下，光电流也较小）； （2）尽可能大的耗尽层厚度； （3）适当加大使用电压； （4）减小结构所造成的分布电容。; 4、等效电路 光电二极管的输出电路及等效电路：由等效图可知： 计算上限频率 ;（三）其他类型的光电二极管 1、光电二极管的分类 按材料 硅光电二极管 锗光电二极管 化合物光电二极管 按结特性： PN结