基于石墨烯用于微弱能量获取的柔性微结构研究-物理学报.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 15 (2014) 158501 基于石墨烯用于微弱能量获取的柔性微结构研究 娄利飞 潘青彪 吴志华 (西安电子科技大学微电子学院, 西安 710071) ( 2014 年2 月21 日收到; 2014 年4 月8 日收到修改稿) 本文首次提出了一种基于石墨烯用于微弱能量获取的柔性基板/石墨烯/ZnO 纳米线/石墨烯的柔性微结 构. 首先, 从理论上进行了该新结构的设计及其工作原理分析; 其次, 研究了该结构制备过程中的关键工艺, 并设计了该结构的制备流程; 最后, 成功制备了该结构, 并进行了相关测试. 最终测试结果表明该结构能够成 功输出数百毫伏的电压. 这些理论和实验上的研究为自驱动微纳系统提供了研究基础, 同时也对集成微纳系 统的实用化发展具有一定的研究意义. 关键词: 石墨烯, ZnO 纳米线, 自驱动, 微纳系统 PACS: 85.85.+j, 84.60.–h, 81.05.ue DOI: 10.7498/aps.63.158501 6 基于电化学气体插层的鼓泡无损转移方法 和溶 1 引 言 液刻蚀法, 可将石墨烯薄膜转移到任何基底上, 并 能够保持其原有的透光性、导电性和力学性能, 进 随着微纳系统的发展, 微纳系统的尺寸越来越 而扩展了石墨烯薄膜的应用范围. 因此, 可将石墨 小, 将来限制整个系统大小的是电源而非其他器 烯的优异电学和力学性能同时应用于微弱能量获 件; 而要实现全方位的监测, 其所用到的微纳系统 取微结构中来提高器件性能. 目前有关纳米能量 的数目和密度相当庞大且应用环境复杂多变, 采用 转换器的研究, 大多是在王中林研究组的研究基础 更换电池的方案及传统的能量获取技术已不能满 上, 围绕着增加器件的能量转换效率和拓展应用 足微纳系统的功能要求. 因此, 产生了自驱动的概 环境等展开的, 例如, 利用碳纳米管涂覆ZnO 纳米 念, 其根本思想是利用从环境中收集的能量, 通过 7 8 线 、ZnO 纳米复合结构 、压电纳米颗粒复合材 能量转换来驱动这些微纳系统, 实现功率自给, 从 9 10 而解决微纳系统的供电问题, 实现传感器的微型化 料 、CdSe quantu 量子点修饰ZnO 纳米线 等 和传感网络的广泛分布12 . 而今自驱动的概念已 来制备纳米能量转换器. 石墨烯在微纳电子领域 经成为世界非常活跃的研究领域. 具有巨大的应用潜力1112 , 此外还可以应用于其 2004 年, 英国曼彻斯特大学物理学家安德烈