微光机电系统与应用技术来自台湾.pdfVIP

C. R. Yang, NTNU MT C. R. Yang, NTNU MT 微 光機電系統與應用技術 微 光機電系統與應用技術 Optical MEMS Technology and its application Optical MEMS Technology and its application Outline Outline Optical MEMS Devices Requirement for optical characteristics Microactuators for optical applications 楊啟榮 博士 Case study 教授 國立台灣師範大學 機電科技學系 Department of Mechatronic Technology National Taiwan Normal University Tel: 02ext. 14 E-mail:ycr@.tw 台灣師範大學機電科技學系 -1- 台灣師範大學機電科技學系 -2- C. R. Yang, NTNU MT C. R. Yang, NTNU MT Optical MEMS Devices Optical MEMS Devices 台灣師範大學機電科技學系 -3- 台灣師範大學機電科技學系 -4- C. R. Yang, NTNU MT C. R. Yang, NTNU MT st MEMS Applications for 21st Century MEMS Applications for 21