多源感应耦合等离子体的产生跟等离子体诊断.pdfVIP

维普资讯 第 55卷 第 7期 2006年 7月 物 理 学 报 Vo1．55，No．7，July，2006 1000-3290／2006／55(07)／3494—07 ACTAPHYSICASINICA ⑥2006Chin．Phys．Soc． 多源感应耦合等离子体的 产生及等离子体诊断* 辛 煜 狄小莲 虞一青 宁兆元 (苏州大学物理科学与技术学院，江苏省薄膜材料重点实验室，苏州 215006) (2005年 11月 28日收到；2005年 12月 15日收到修改稿) 基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体，研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联，并将实验结果应 用到多组并联螺旋天线感应耦合等离子体放电体系中．采用 了改进的朗谬尔探针方法对单源和多源感应耦合等离 子体的电参量分别进行了表征．结果表明，使用多螺旋天线并联方式可以产生