材料表征教学资料 pfm cafm资料教程.pptVIP

---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- * 压电力显微 吴迪 南京大学材料科学与工程系 压电效应 铁电材料中的电－力耦合 * 单畴铁电材料中应变 对小的ac信号，取出应变的一次谐波 有效压电系数d33-eff 压电力显微 (piezoelectric force microscopy) PFM测量电压施加到样品表面时的力学响应 * ～pm量级的微小形变 ～fA量级的微弱电流 ～1-10nm的微小尺度 导电的针尖 nanoelectromechanics BaTiO3: d33=80 pm/V；相当于10 V产生0.8 nm的形变，很难测量 压电力显微 (piezoelectric force microscopy) vertical PFM：normal displacement * 在导电针尖上施加交流电压 由于纵向压电效应，样品发生纵向形变，导致悬臂梁形变 如果频率远低于共振频率 振动的振幅正比于d33的大小 相位对应样品中的极化方向，反向电畴相位相差? d33 -d33 bias off bias on 压电力显微 (piezoelectric force