原创力文档第卷第期光学学报年月椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构李晓伟周毅孙丽丽汪爱英中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波市海洋防护材料与工程技术重点实验室浙江宁波摘要采用自主研制的双弯曲磁过滤阴极真空电弧技术在不同衬底负偏压下制备了四面体非晶碳薄膜通过分光光度计和椭偏联用技术精确测量了薄膜厚度重点采用椭偏法对不同偏压下制备的薄膜键和键结构进行了拟合表征并与射线光电子能谱和拉曼光谱的实验结果相对比分析了非晶碳结构的椭偏拟合新方法可靠性结果表明在偏压时薄膜厚度最小为随着偏压的增加薄膜中的含量增加含量减
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３２ １０ 光 学 学 报 Ｖｏｌ．３２ Ｎｏ．１０
年 月 ，
２０１２ １０
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