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浅论微型机械加工技术及其的应用 　　摘要微型机械加工技术是目前世界上最重要的新兴技术之一,它具有传统机械加工技术无法比拟的优点,因而在多个领域得到广泛应用。对微型机械加工技术及其应用加以探讨。 　　关键词微型机械;加工技术;应用 　　中图分类号TH12文献标识码A文章编号1673-9671-(2010)062-0129-01 　　 　　微型机械加工技术是一种制作微型机械部件与结构的高科技加工技术,它以体加工技术、硅平面加工技术为基础并发展成为一种世界上最重要的新兴技术。微型机械加工技术已在医疗、军事、航天、环保等领域得到了广泛应用。本文对微型机械加工技术及其应用加以探讨。 　　1微型机械加工技术 　　1.1集成电路加工技术 　　集成电路加工技术是一种制作大规模集成电路的平面加工技术,目前已经成为一种较成熟、发展快的微型机械加工技术。这种技术的优点在于:第一,它和集成电路具有非常好的相容性,所以,目前它已经成功地运用于微型机械的光显示器、加速度传感器等。第二,在制作微型机械零部件中,该技术可以将刻蚀深度降到最低,只有数百纳米。但其局限性在于只能用来制作硅材料的零部件。 　　1.2光刻技术 　　在目前用的比较多的光刻技术中,紫外准分子激光光刻技术的成本最低,是大批量生产的理想技术;电子束光刻技术的技术掌握程度是最成熟的;离子束光刻技术的分辨率最高;此外,X射线光刻