脉冲偏压电弧离子镀Cr-O薄膜结构及光学性能研究.PDFVIP

脉冲偏压电弧离子镀Cr-O薄膜结构及光学性能研究 刘海永 张敏 林国强 韩克昌 张林 StructureandopticalpropertyofCr-Ofilmsdepositedby pulsed bias arcion plating LiuHai-Yong ZhangMin LinGuo-Qiang HanKe-Chang Zhang Lin 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,138104(2015) DOI: 10.7498/aps.64.138104 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.138104 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I13 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 平面环形谐振腔微光学陀螺结构设计与优化 Designandoptimizationofintegratedmicroopticalgyroscope based on a planarring resonator 物理学报.2015,64(10): 107802 /10.7498/aps.64.107802 激光二极管抽运氦气冷却钕玻璃叠片激光放大器热致波前畸变和应力双折射的数值模拟和实验研究 Theoretical and experimental investigations on wavefront distortion and thermal-stress induced birefrin- genceinalaserdiodepumpedheliumgas-cooledmultislab Nd:glass laser amplifier 物理学报.2015,64(8): 087801 /10.7498/aps.64.087801 锥形光纤激发盘腔光学模式互易性研究 Opticalmodelraciprocityof diskresonatorexcitatedbytapered fiber 物理学报.2014,63(22): 227802 /10.7498/aps.63.227802 基于表面等离子激元的超薄金属减色滤波器的研究 Ultrathinmetallicsubtractivecolorfiltersbasedonsurface plasmon primitives 物理学报.2014,63(20): 207801 /10.7498/aps.63.207801 横磁模式下二维非磁化等离子体光子晶体的线缺陷特性研究 Defectmodepropertiesoftwo-dimensionalunmagnetizedplasmaphotoniccrystalswithline-defectunder transversemagneticmode 物理学报.2011,60(2): 025215 /10.7498/aps.60.025215 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 13 (2015) 138104 脉冲偏压电弧离子镀Cr-O薄膜结构及 光学性能研究 刘海永 张敏 林国强 韩克昌 张林 1) (大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室, 大连 116024) 2)(辽宁师范大学物理与电子技术学院, 大连 116029) ( 2014 年10 月14 日收到; 2015 年2 月10 日收到修改稿) 采用脉冲偏压电弧离子镀技术在单晶硅基片及石英玻璃上制备了一系列均匀透明的Cr-O 薄膜. 用场发 射扫描电子显微镜、X 射线衍射仪、X 射线光电子谱、纳米压痕仪、紫外可见光分光光度计等方法对薄膜的表面 形貌、膜厚、相结构、成分、元素的化学价态、硬度和光学性能等进行表征, 主要研究了偏压幅值对薄膜结构和 性能的影响. 结果表明, 施加偏压可使薄膜的沉积质量明显提高, 其相结构由非晶态转变为晶体态, 并随着偏 压幅值的增加,