第11章 晶体薄膜衍衬成像分析资料讲解.ppt

* 一、衍衬运动学理论的基本假设 * 一、衍衬运动学理论的基本假设（1） 一、运动学理论有两个基本假设及实现的途径： ① 不考虑衍射束和入射束间相互作用：（两者间无能量交换） 当衍射束强度﹤﹤入射束强度时，此条件可满足。 实现途径： 使晶体处较大偏离θB位向（S大），以避免产生强衍射。 ② 入射电子在样品内只可能受到不多于一次的散射： 即不考虑电子束通过晶体样品时引起的多次反射和吸收。 实现途径： 晶体样品要足够薄，以减少电子受多次散射和吸收。 * 一、衍衬运动学理论的基本假设（2） 要满足这两个基本假设： ① 不考虑衍射束和入射束间相互作用。 ② 入射电子在样品内只可能受到不多于一次的散射。 实际上是有困难。其原因： 1. 原子对电子的散射很强烈，散射波不会很弱； 2. 晶体较大偏离θB位向（S大），虽衍射束较弱，对应倒易点偏离爱瓦尔德球面，但附近另一些倒易点又将靠近球面。 3. 样品越薄、其倒易杆拉长，更易产生强烈衍射。 * 一、衍衬运动学理论的基本假设（3） 满足两个基本假设后，为简化计算，采用两近似处理方法： ① 近似双光束条件： 双光束条件：电子束透过薄晶后，只存在透射束和一束较强衍射束，其它衍射束较大偏离θB ，其强度可视为零。 近似处理： 此较强衍射束的晶面位向接近θB ，但不是精确满足θB 。 （有一偏离矢量S）。 * 一、衍衬运动学理论的基本假设（3） 此近似假设目的有二： 1. 存在一个偏离矢量 S ：虽存在一较强衍射束，但其衍射束强度远比透射束弱，以保证它们之间无能量交换。 2. 双光束条件： 因只有一束衍射束，则衍射束强度 I g 和透射束强度 IT 有互补关系，即 I 0＝I g + I T＝1， 因此只要计算出衍射束强度I g ，就可知道透射束强度I T 。 * 一、衍衬运动学理论的基本假设（4） ② 柱体近似：为计算薄晶下表面衍射波强度， 可将薄晶样分割成一个个贯穿上、下表面、与一个晶胞尺度相当的小晶柱体（最小成像单元）。并假设透射束和衍射束都在此小晶柱内通过，且相邻晶柱内的衍射波不相干扰。 柱体近似 如晶柱：Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ ， 其底部的衍射强度： Ig1、Ig2、Ig3 若三个晶柱内晶体构造 有差别，三点的强度 就不同，则就有衬度。 * 二、理想（完整）晶体的衍射强度 * 二、理想（完整）晶体的衍射强度（1） 1、柱体下表面衍射波振幅： 在 t 厚度薄晶内取一小晶柱，入射电子波通过厚度元 d z （距上表面为 z 、位矢 r）， 按费涅尔衍射原理，在某衍射方向上的散射波振幅为： 振幅Φ0＝1 透射波K 衍射波K′ ξg －消光距离 小柱体的衍射强度 (S 0) Φ为位矢 r 处原子面散射波相对于上表面散射波的相位角差； S 偏离矢量 * 二、理想晶体的衍射强度（2） 又考虑 s 与 r 近似平行，近似有 振幅Φ0＝1 透射波K 衍射波K′ 即为衍射运动学理论的基本方程 小柱体的衍射强度 (S 0) S 偏离矢量 * 二、理想晶体的衍射强度（3） 将该小柱体内所有厚度元的散射波振幅按位向叠加， 即得：柱体底部衍射波的合成振幅Φg 。 小柱体的衍射强度 (S 0) 积分得： * 二、理想晶体的衍射强度（4） 衍射波强度 I g 正比于其振幅Φg平方： I g = | Φg |2 当波用复数形式表示时， I g + I T＝1 理想晶体衍衬运动学基本方程 表明：理想晶体的衍射强度 I g 随样品的厚度 t 和衍射晶面与精确布拉格位向间的偏离矢量 s ，而呈周期性的变化。 衍衬运动学理论认为：明、暗场的衬度是互补的。 * 三、理想晶体衍衬运动学方程的应用 * （一）等厚条纹 * （一）等厚条纹 若衍射晶面位向确定，即偏离矢量 S＝常数，则衍射强度 I g 随晶体厚度 t 发生周期性振荡。 衍射强度 Ig 随晶体厚度t的变化 振荡周期： t = 1/s ① 当 t＝n／s (n为整数) ， I g ＝ 0； ② 当 t＝（n＋1/2）／s ， I g 为最大。 衍射强度I g * （一）等厚条纹（厚度消光条纹） 衍射强度 I g 随 t 周期性振荡规律，可定性解释薄膜样孔洞边缘呈楔形 （厚度变化区域） 出现的厚度消光条纹。 a) 等厚条纹形成原理的示意图 b) 样品边缘形成的厚度条纹 * 等厚条纹（Thickness Contour） 入射束（蓝）和衍