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- 2018-11-09 发布于江苏
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光电式传感器的理与应用
5.5.1 光栅传感器的结构 透射光栅 5.5.2 莫尔条纹形成的原理 光栅和横向莫尔条纹 横向莫尔条纹的斜率为 横向莫尔条纹(亮(暗)带) 之间的距离为: 特征 (1)由式(5.5.2)可知,虽然光栅常数W很小,但只要调整夹角θ即可得到很大的莫尔条纹的宽度BH,起到了放大的作用。这样,就把一个微小移动量的测量转变成一个较大移动量的测量,相当于信号放大,方便又提高了测量精度。 (2)莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化,因此便于将电信号做进一步细分,即采用“倍频技术”。将计数单位变成比一个周期W更小的单位,例如变成W/5记一个数,这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。 (3)光电元件接收的并不只是固定一点的条纹,而是在一定长度范围内所有刻线产生的条纹。这样,对于光栅刻线的误差起到了平均作用,也就是说,刻线的局部误差和周期误差对于测量精度没有直接的影响,因此,就有可能得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 5.5.3 光栅的光路 1.透射式光路 2.反射式光路 5.5.4 光栅传感器的电路 1.光栅的信号输出 2.辨向原理 设主光栅随被测零件正向移动5个栅距后,又反向移动1个栅距,也就是相当于正向移动了9个栅距。可是,单个光电元件由于缺乏辨向本领,从正向运动的l0个栅距得到了5个条纹信号,从反向运动的1个栅距又得
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