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No. 484, 14.04.2014
Daniel Zhang
zhanglimeng@
+86(21) 6891 6286
用于微小缺陷检测的
光学在线检测技术
完美的玻璃基板
最高可兼容第11 代玻璃
玻璃基板能够用于生产 FPD 显示器、触摸屏或 TFT 监视器 ,这些产品
都有一个共同点 :它们代表了人与机器之间的界面。无论设备种类如
何,客户期望的是完美的触感和外观——无论是 MP3 播放器还是智能
手机。对于玻璃制造商而言,这意味着持续确保最高的质量标准,以满
足客户需求并参与全球竞争。凭借 Flat Panel Master 生产线,ISRA
VISION 提供了下列解决方案:为实现 100%监控的基底制造过程提供
灵活的全自动光学检测技术,从而实现最高的产品质量和生产效率。
玻璃基板的生产分为若干复杂步骤 ,每一步骤仅占附加值的约 5%。然
而,生产过程中的每一阶段都至关重要:每当有缺陷的玻璃基板被传递
到下一个过程,任何进一步的精整过程都将是徒劳的——最终产品也是
如此。因此,从一开始直到产品链的末端,均需要具备一致和完整的检
测——这不仅仅是定性的需要,也是出于经济方面的考虑。
到目前为止 ,即使对于光学检测系统而言 ,最小的材料厚度和微观缺陷
尺寸也是一项挑战。凭借其Flat Panel Master 产品线,ISRA 为高度可靠
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Daniel Zhang
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的玻璃基板无触点在线检测提供了完整的解决方案。该技术的核心是分
辨率高达几微米的线性扫描相机、创新的照明理念以及配备全面分析选
项的软件。此外,该产品线提供了四种组合模组,因此可提供贯穿整个
生产过程的100%缺陷检测,最高可兼容第11 代薄板玻璃。
在玻璃基板的表面上 ,即使最小的颗粒聚集也会对下列电池板的生产过
程产生不良影响。Flat Panel Master – Particle 是一种特殊的模组,适合在
洁净室中使用,能够可靠地检测微米大小的颗粒。它能够确保只有毫无
瑕疵的薄板玻璃能够通过检测 ,并传递至后续的镀膜处理。所获得的检
测数据为洁净室中的颗粒密度大小提供了参考意见,并且能够用于优化
初步的清洁程序。
Flat Panel Master – Inspect 模组专门用于检测和分类玻璃缺陷 (例如气
泡、划痕、污点和夹杂物 )。为满足这一要求 ,它采用了创新的设置 ,
将多个光学通道结合至单一传感器内。取得专利的在线 Moiré 技术可测
量玻璃的光学折射,并帮助检测缺陷,可靠性和精确度都达到很高的水
平。采用快速和独立切换的 LED ,可以实现不同的照明效果,而无需使
用复杂的多角度照明布置。这一努力取得了成效:早期缺陷检测避免了
在生产过程末端产生废料,从而降低了成本。
完美的边缘对于薄板玻璃的尺寸精度至关重要 ,并使破损风险最小化。
Flat Panel Master – Edge 检测模组采用多视图技术(将近360 度),以无
可比拟的精度检查玻璃基板边缘,从而检测包括裂痕、翘皮、烧痕和破
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损在内的缺陷。紧凑的传感器可以集成在一个固定的位置或可移动轴
上,使系统灵活轻松适应任何类型的玻璃传输设备。除了质量文档以
外,检测协议还提供磨削加工过程的优化信息。所记录的数据可供操作
员定义砂轮和边缘切割器的最佳置换时间,以使运行时间最大化。
Flat Panel Master – Review 模组的设计旨在用于生产线末端以及离线时对
于选定缺陷的微观分析。可以通过使用多个缩放因子选择并放大相关缺
陷。该软件有助于找到造成缺陷的根源,并提供了对缺陷的重新分类以
便重新划分玻璃基板等级(视需要而定)。毫无疑问,玻璃制造商做出
的是一项双重的安全质量决定。
高度精确的 Flat Panel Master 所提供的无触点检测为玻璃基板的质量改
进提供了巨大的潜力 ,进而提高了成品显示器的质量。此外,根据统计
数据准备的检测数据以及广泛的分析功能确保了透明
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