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低溫多晶矽（準分子雷射） 準分子雷射的工作物質是準分子氣體。準分子就是一種處於激發態的複合粒子，在標準狀態下，即在基態時，它處於分離狀態，而在激發態處於分子狀態。 低溫多晶矽（固相結晶） 固相結晶技術成本最低，也是最容易使用的方式。一般的作法是將非結晶矽薄膜放在爐管中進行退火。為了得到較大的晶粒，可以改變非晶矽的沈積參數幾退火條件。 低溫多晶矽（金屬誘發結晶） 利用金屬語系反應成介穩定的矽化合物，在矽化物移動的過程中，金屬原子的自由電子Si-Si共價鍵發生反應，降低a-Si結晶所需的能障降低，使得結晶問度降低。 參考文獻 .tw/~oesemi/new_page_24.htm 國立成功大學 工程科學研究所 低溫多晶矽薄膜製成研究 陳毓儒 國立雲科 光電工程研究所 金屬誘發結晶法研製太陽電池之低溫多晶矽薄膜 劉育誠 東華大學材料科學與工程學系平面顯示器技術 張文固 博 士 多晶矽TFT LCD應用 指導老師：許進明 學 生：曾祥修 學 號：96L0231 大綱 多晶矽TFT LCD元件結構 TFT LCD目前技術分為 低溫多晶矽 多晶矽TFT薄膜製作方法 多晶矽TFT薄膜在元件之功能 多晶矽TFT薄膜的特性要求 多晶矽TFT薄膜的優點 參考文獻 多晶矽TFT LCD元件結構 TFT-LCD 即是thin-film transistor liquid-cr