原创力文档第卷第期红外与激光工程年月圆锥近似型射线望远镜用柱面反射镜面形误差检测方法刘娜沈正祥马彬魏振博徐旭东王占山同济大学先进微结构材料教育部重点实验室上海同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所上海摘要院基于热弯玻璃的圆锥近似型射线聚焦望远镜采用在凸柱面镜模具上热弯超薄玻璃的反射镜片制作方式柱面镜低频面形误差和中频波纹度是影响望远镜聚焦性能的主要因素因此高精度快速检测凹凸柱面镜中低频表面误差是研制中的关键技术传统的柱面样板法无法检测超薄镜片且只能检测对应样板半径的面形检测效率低无法满足要求采用
第47卷第4期 红外与激光工程 2018年4 月
Vol.47No.4 InfraredandLaserEngineerin Apr.2018
圆锥近似Wolter-I型 X射线望远镜用柱面反射镜面形
误差检测方法
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