精密加工与纳米技术-精品·公开课件.pptVIP

精密工程与纳米技术 王先逵 清华大学精密仪器与机械学系 制造工程研究所 2001.11 精密加工和超精密加工技术微细加工技术纳米技术与微型机械 精密加工和超精密加工技术  精密加工的发展阶段 精密工程的范畴 精密工程是精密加工和超精密加工技术的总称。 精密加工是指加工精度为1~0.1微米、表面粗糙度为Ra0.1~0.01微米的加工技术。 超精密加工是指加工误差小于0.1微米，表面粗糙度小于Ra0.025微米的加工技术，又称为亚微米加工技术。 超精密加工技术 目前，大多数学者都将超精密加工技术分为两大类： 机械超精密加工技术 非机械超精密加工技术 机械超精密加工技术 金刚石刀具超精密切削 金刚石微粉砂轮超精密磨削 精密研磨和抛光 其它 大型光学金刚石车床（LODTM)美国LLN实验室，加工直径1625mm,长度508mm,重量1360公斤 盒式超精密立式车床 非机械超精密加工技术 主要指微细电火花加工、微细电解加工、微细超声加工、电子束加工、离子束加工、激光束加工等非传统加工的精密化、微型化。 可以很明显地看出，所谓非机械超精密加工技术实际上就是超精密特种加工，这对特种加工而言是一个极好的机遇。 非机械超精密加工技术不仅包含了通常的特种加工技术，而且包含了集成电路制作的一些微细加工技术。