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气敏传感器 07级物理学基地班 小组成员：许广凌 张英杰 李遇泽 张寒晖 俞 波 马登峰 主要内容： 概述 气敏传感器分类 气敏传感器性能评价 SnO2气敏元件 一些其他的常见气敏元件 展望 概述 在工业高度发达的今天，废气污染所带来的损失已经威胁到人类的牛存，温室效应，酸雨，臭氧层的破坏等一系列问题已经迫在眉睫，而解决这些问题的关键是迅速准确地检测到这些有毒害、有污染的气体，另外，在家居安全、矿井作业、火灾报警等方面，气体的检测也很重要．这便是气敏传感器发展的客观条件。 需要检测的气体种类很多，而所检测的气体的种类、组成、浓度不同，其检测方法也不大相同．如电化学法、光学法、色谱分离法等。这些方法共同的缺点是检测设备复杂、成本高、不宜广泛使用。 定义：气敏传感器是指将被测气体浓度转换为与其成一定关系的电量输出的装置或器件。 自从1931年布劳尔(P．Brauer)发现了Cu2O的电导率随水蒸汽的吸附改变。至今，人们已经相继发现ZnO、Fe2O3、MgO、SnO2、NiO、Cr2O3、TiO、BaTiO3等都具有气敏效应。气敏传感器已经发展成为传感器领域的一大体系，已经研制成功一大批功能各异的气敏传感器，其分类方式也有很多种．例如按被检测气体分类、按制作方式分类、按工作原理舟类等不同的分类方法。 气敏传感器的分类(按工作原理分类)： （1）电量型气敏传感器 电阻式气敏传感器——材料表面吸附气体后电阻值发生变化 电容式气敏传感器——材料的电容量随周围气体的浓度发生变化 伏安特性气敏传感器——一定的气体将引起半导体能带及金属功函数的变化 （2）质量型和质量电量双参数气敏传感器 声表面波型气敏传感器——在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某种气体的气敏薄膜，当这层气敏薄膜吸附了特定气体之后将会引起压电晶体的声表面波频率发生漂移，从而可以准确地测出气体的浓度。 石英微波天平气敏传感器——在石英表面涂覆一层选择性吸附某种气体的涂层，当此涂层选择性吸附特定气体之后便会引起石英晶片谐振频率的变化，从而可定量的测特定气体的浓度。 气敏传感器性能评价 灵敏度高，使用方便，价格便宜是人们对气敏传感器的兴趣所在，但是，选择性才是气敏传感器最重要的性能指标。 传统的广谱型气敏传感器能对大多数还原性气体响应，但无法分辩气体类型，在很大程度上限制了传感器的使用范围。实际应用中我们希望传感器能够从复杂的气体混合物中有选择地分辨出目标气体，如CO、H2、C2H50H等，以满足安检、报警等多方面需求。从改变气敏材料制备工艺和测试技术的角度等方面可以提高选择性。 SnO2气敏元件 用金属氧化物敏感材料制作的半导体式气敏元件具有灵敏度高，结构简单，体小质轻，坚固耐用等优点而得到广泛的应用， SnO2是氧化物半导体气敏材料中最常见的一种。 SnO2是一种广普型的气敏材料， SnO2粉体的粒径大小，颗粒的形状、均匀性、稳定性都直接影响着制成的气敏器件的灵敏度、功耗、响应恢复特性及稳定性等重要参数。 SnO2 有良好的气敏性能，但是，为了得到灵敏度高响应快速，功耗低的元件，常以SnO2 材料为基体研制效用更好的气敏材料。主要工作有： 控制材料微粒大小，颗粒纳米化 掺杂，添加其他催化剂或添加剂 利用过滤设备增强选择性 改进制备方法 一、 控制材料微粒大小，颗粒纳米化 由于SnO2是表面电阻控制型气敏材料，表面积越大，表面活性较一般材料就越高，吸附能力也就越大，与气体反应得就越快，其灵敏度也越高，因此传感器的纳米化是制备高灵敏度气体传感器的最佳方法之一。半导体纳米团簇具有比表面积大，相对气体阻抗变化大的优点，因而可以满足气体传感器灵敏度较高、使用温度下检测范围大的要求。纳米材料有显著的表面效应，体积效应、量子效应、小尺寸效应和宏观量子隧道效应，使得它应用很广。 二、掺杂，添加其他催化剂或添加剂 各种不同贵金属或其氧化物的掺杂改变了SnO2表面或内部活性，不同程度改善了灵敏度和选择性，降低了工作温度。掺杂SiO2可降低反应温度，提高对CO、H2的气敏效果；掺杂PdCl2，有效降低活化能，同时掺杂SiO2和PdCl2效果更佳；掺杂CuO(2.4％一4.6％)对H2S气体有较高灵敏度和较好响应恢复特性且功耗低；掺杂MgO、A1203、CaO加快气体吸附速度；CdO、PbO、CaO的掺杂改变烧结特性。 三、利用过滤设备增强选择性 在传感器上设置一层薄膜，该膜层可以选择性地通过或阻止某些气体而提高元件的选择性。如SiO2提