GaN基LED电极设计与其出光特性-研究.pdf

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Contents 1Introduction……………………………………………………………………………………l Chapter 1.1Forword……………………………………………………………………………………………….1 ofLED……………………………………………………………一2 1.2田1ebasiccharacter 1.2.1Thecharacterofnitridematerial…………………………………………………….2 1.2.2111e mechanism……………………………………………………….3 lightemitting 1.3 the ofGaN-basedLED f加…………………4 performance impact Improve micro—structureLED……………8 1.4Introductionofelectrodestructureand design 1.5Theframeworkofthesis………………………………………………………………………11 References……………….…………….….……….….………………….………………….….….….12 of 2Fabricationandcharacterizationmaterial.....…......…..............…...16 Chapter andcharacterizationoffilm…………………………………16 2.1Methodsoffabrication 2.2Electrodefabrication technology...….................................…....…...................21 2.3n坨fabricationof矗lmand Characterization…………………………………………..24 2.3.1,玎1e offilm……………………………………………………………………一24 growth 2.3.2netestand analysis…………………………………………………………………..26 2.4Conclusion ofchapter……….……….………………………………….……………….…...29 References….…………….….…………………………….…….……………………………………..31 3Traditional electrodefabrication....…..….…...….…..….....33 Chapter disk-shaped 3.1Electrodefabrication………………………….…….………………….……………….….….33 3.1.1Fabricationofn-electrode……………………………………………………………33 :;.1.2Fabrication ofp-electrode…………….…………………….……………….………37 3.2Conclusion ofchapter……………………………….….…………………….…….………...41 References….…….………….………………………………….……………………………….….….43 4 andfabri

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