奈米级三次元量测仪研制.PDFVIP

奈米級三次元量測儀研製(2/3) － 子計畫一 ：奈米級三次元量測儀結構之設計與分析 Design and Analysis of A Nano-CMM Structure 計畫編號 ：NSC 89-2212-E-002-055 執行期限 ： 年 月 日至 年 月 日 88 08 01 89 07 31 主持人 ：鍾添 東 國立台灣大學機械系 一 、中文摘要 In this year, a prototype of the final design will be 本計畫為整合型計畫”奈米級三次元量測儀 manufactured and different structural responses will 研製”之子計畫一：奈米級三次元量測儀結構之設 be measured. The validity and correctness of the 計與分析(II) 。”本年為三年計畫之第二年 ，主要 whole design process can be verified from the 目的為設計與分析一奈米級三次元量測儀結構之 response measurement. 初型。其量測範圍在X 軸 ，Y 軸 ，及Z 軸方向分 Keywords: Nano-CMM Structure, Joint simulation, 別為20mm ，20mm 及 10mm 。本年度針對滑軌接 Finite Element Analysis. 點發展一套有系統的模擬與分析方法 ，建立含接 點的有限元素模型 ，進行結構靜態分析 ，動態特 二 、計畫緣由與目的 性分析等 ，利用調整細部設計尺寸使滿足各種結 近年來我國半導體工業及微機械工程快速 構特性要求 。本年度將進行初型之製作及性能量 發展 ，在微機械元件越做越小 ，晶片的最小線寬 測 ，以驗證設計及分析之正確性。 越來越細的情況下 ，傳統的三次元量測儀 關鍵詞奈米級三次元量測儀結構 ，接點模擬 ，有 [Coordinate Measuring Machines (CMM)]已不敷使 : 限元素法。 用。尤其在半導體製程中，對於平台的定位精度 ， 通常需要量測到奈米級(1 nm = 10-9 m)的精度，因 ABSTRACT 此發展奈米級的三次元量測儀技術 ，以應現今各 This project is the first sub-project of the inte- 種產業之用 ，乃當務之急。Takamasu[1]研究傳統 grated-project named “Design and Fabrication of a 之三次元量測儀與奈米級三次元量測儀之比較 ， Nano-CMM(Coordinate Measuring Machine)” and 發現奈米級三次元量測儀的各種規格大約是傳統 is the second year of the whole three year project. 三次元量測儀的 1/