无机溶胶—凝胶法制备VO2薄膜与其性能-研究.pdf

j商要 摘要 二氧化钒(V02)是一种被广泛研究的具有热致相变特性的热敏 材料。当温度升高到68℃附近，发生晶相的转变，相变前后光学， 电学性能突变，因此在很多领域具有重要的研究价值。近年来，V02 在智能窗，激光防护等领域取得了很好的进展。 本文采用无机溶胶一凝胶法制备V02薄膜。通过实验探索了制备 V02薄膜的工艺条件。探讨了不同热温度，不同保温时间下制备V02 薄膜的较佳条件以及不同掺杂方式及不同掺杂原料对于薄膜性能的 影响。运用XRD分析薄膜的物相，SEM观测薄膜表面形貌及厚度，红 外一可见分光光度计测试了常温、高温下的薄膜透过率及相变温度。 结果表明当五氧化二钒溶胶(V205)与无水乙醇比例为1：10时，可通 过提拉法五氧化二钒薄膜。制备V02薄膜的较佳工艺是热处理温度 550℃，热处理保温时间4h。热处理条件与薄膜的厚度是负反馈关系。 共熔融掺杂方法有效掺杂率大于混合掺杂方式，但二者掺杂效果都不 理想。 关键词：无机溶胶凝胶法；V02薄膜；透过率； 万方数据 安篁里三奎堂堡主兰垡堡茎 一———————————————————————————————一 一 ABSTRACT wnlch materiaJ thermalsensitive a studied widely 、‰adi啪dioXide(v02)is the nsesto transition temperature induced property．When amemal haVing phase electrical 0t transition and propenles near occurs，optical 68℃，tlle吖stall硫phase valuein areas· to research many 西e刃。H￡anflead veryimportant m hasachievedmanyimportantprogresses aboutV02 111recentVears，research on· andso