压电微马达的动力学仿真及试验研究-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 , 年 月 , ‘ 压 电微马达 的动力学仿真及 实验研 究 崔天宏 ” 王立鼎 吕琼莹 , ‘ 清华大学精仪系 北京 连 , 。 中国科学院长春光学精密机械研究所 长春 。 马 基 基 础 , 用 写 动 力 摘 要 本文在压 电微 达 动力学 本原理 的 上 运 语言编 了其 学 仿真程序 , 进行 了压 电微马达 的动力学模拟 其 次 , 本文提 出了压 电微 马达 的动 力学测 量原理 , 对压 电微马达样机进行 了动力学模型实验 , 从而验证 了压 电微 马达 动力学原理 及其仿真结论 的正确性 微型机 , 压 微 马达 , 学 , 型 实 关键词 械 电 动力 仿真 模 验 曰 , 户 咭 卜 口 云三 微型机械是八十年代后 期崛起 的新兴热点技术 , 它是 一个 独立 的微小智能系统 , 主要 由微 驱动器 、 微传感器 、 微执行 器和微 能源 等要素组成 。 这些要 素技术 的实现 必 须有相应 的基 础 理 。 、 。 论和 工 技 从 这个 意义上 , 型机 是一 多学 叉 边 学 可 艺 术 的支持 说 微 械 个 科 高技术交 的 缘 科 以说 , 微 型机械及 其相关学 科 的研 究 目前 已得 到科技发达 国家 的普遍 重 视 ,