聚焦激光剥蚀铁靶实验设计探析.docxVIP

聚焦激光剥蚀铁靶实验设计探析 　　自从１９６０年美国人梅曼制作了世界上第一台激光器后，激光因其能量集中、方向性好、相干性好、单色性好，在激光加工中得到广泛研究与应用．目前国内很多高校开设光电子科学与技术专业及光信息处理专业，激光原理是这２个专业的重要必修课．虽然学生做了很多光学方面的物理实验，但没有经过激光实验训练，学生仍然很难将激光原理与物理学、生物学、医学等其他相关学科交叉学习，对激光器工作原理、结构、调节及激光的主要性能参量测试没有感性认识．为了弥补这一缺憾，在聚焦脉冲激光剥蚀靶材前首先采用相关设备测试自由运转激光器输出脉冲激光的主要性能参量，如能量、脉冲宽度、工作频率等，脉冲激光聚焦靶材表面剥蚀后的形貌采用体视显微镜观测，以评价不同激光参量对剥蚀后形成的凹坑形貌的影响．　　１激光参量测试　　激光剥蚀靶材前测量自由运转的脉冲钬激光参量。　　１）测激光能量．为防止激光对光功率能量计探测器敏感端面造成损伤，激光器出光端面距光功率能量计（以色列Ｏｐｈｉｒ公司，表头ＮＯＶＡＩＩ，探测器ＰＥ５０ＢＦ－Ｃ）敏感端面５０ｍｍ．激光器输出的脉冲激光辐照在光功率能量计探测器上，探测结果在附带表头上动态实时显示．数据采集软件可动态显示激光能量／功率随时间变化关系曲线，也可以ＴＸＴ文件保存采集的能量／功率数据．为了锻炼学生运用数据软件处理实验数据的能力，用Ｏｒｉｇｉｎ８．０软件对保存的数据文件进行必要的处理．　　２）测激光脉宽．距离光功率能量计探头５０ｍｍ处，以一定角度放置光电探测器（ＰＶ－３，波兰Ｖｉｇｏ公司，响应时间τ＜１５ｎｓ），探测到部分反射光信号，转换后的电压信号输入示波器（泰克，ＤＰＯ４１０４），示波器记录激光脉冲波形．结果表明：泵浦电压为９６０Ｖ，泵浦脉宽为０．９ｍｓ，频率５Ｈｚ时钬激光脉冲的半高全宽为５７０μｓ．表明激光器初始输出脉冲能量较大，第５ｓ时探测到的瞬时能量为２．１７Ｊ，５ｓ内测得平均能量为２．１３３Ｊ，最大能量值为２．３１Ｊ，最小能量值为２．０５Ｊ，能量标准偏差为６１．３２ｍＪ，探测到的激光频率为５Ｈｚ．设置脉冲钬激光输出频率为５Ｈｚ，调节激光器电源的泵浦电压和泵浦脉宽，使输出的脉冲激光能量分别为２．０６７Ｊ，２．１４７Ｊ，２．１３３Ｊ时，对应的激光脉宽分别为１０１０μｓ，９５２μｓ，５９８μｓ．由于脉冲激光能量波动在５％范围内，可视为激光能量恒定输出且平均值为２．１Ｊ．　　２聚焦钬激光剥蚀靶材实验设计　　２．１实验流程　　由于２．１μｍ波长钬激光在普通的玻璃材料制作凸透镜中传输时损耗较大，因此不能用普通Ｋ９玻璃材料制作凸透镜聚焦钬激光脉冲．另外，作为增益介质的固体棒直径为１０ｍｍ，激光器谐振腔端面输出的光斑直径约为８ｍｍ．选择直径１５ｍｍ、焦距１５ｍｍ的氟化钙材料制作的双凸透镜聚焦脉冲激光．搭建如图４的实验平台．频率５Ｈｚ的脉冲钬激光经氟化钙透镜聚焦在靶材表面，持续１０个脉冲，每组参量的实验重复５次．靶材为铸铁片（１５ｍｍ×１５ｍｍ×２ｍｍ），铁片固定在三维调整支架上，可三维移动控制．为了实现打孔的精确定位，可以利用调整架对靶材位置进行微调，使激光聚焦在靶材表面，操作步骤如下：１）调制好光路，在三维调整架上装靶材并试探性打孔．）调节激光器电源参量，降低输出的激光能量并调节支架，使得聚焦激光刚好能在靶材上打孔，而沿光轴方向前后移动靶材后均不能打孔，则可定位聚焦点．　　２．２实验结果与分析　　经钬激光脉冲剥蚀后的铁片放在体视显微镜（镜头ＬｅｉｃａＭ２０５Ａ，摄像系统ＬｅｉｃａＤＦＣ５５０）下观察．图中（ａ１），（ｂ１）和（ｃ１）为凹坑表面二维形貌图，（ａ２），（ｂ２）和（ｃ２）分别是对应的凹坑底部形貌放大图。，脉冲钬激光剥蚀铁片形成的凹坑呈表面大、底部小的锥形，凹坑表面总体呈椭圆形，但短脉宽［如（ｃ）５９８μｓ］时凹坑表面形状更规则．因为聚焦光斑的形貌相同，对于离聚焦中心一定距离的点来说，短脉宽时该点处激光功率密度高，铁的熔融过程显著，铁片被剥蚀．激光脉宽长时，激光功率密度低于剥蚀阈值时没有剥蚀现象发生．（ａ）和（ｂ）２组实验中的凹坑内部颜色呈以蓝和黄褐色为主的彩色，凹坑（ｃ）中还出现红色．一般而言，铁的氧化物为黑色（如四氧化三铁、氧化亚铁）和红棕色（三氧化二铁），与凹坑（ａ）～（ｃ）的颜色有出入，显然这３组实验条件下的剥蚀产物成分更为复杂．对于图（ａ１）～（ｃ１），凹坑内壁可见环状分层的纹路，这是因为铁片受激光辐照后升温，进而熔化，由于该过程反应剧烈，部分熔融物飞溅出去，导致铁片的剥蚀发生，每次脉冲作用意味着１次剥蚀过程，在下次剥蚀发生前，熔融物冷却时会留下痕迹，即图中蓝色的环状纹路．图中显示凹坑最外层纹路的形状不规则，随着向内部的延伸，纹路形状越来越规则，从椭圆渐变为近似圆形．凹坑（ａ１）～（