具低介电系数之低温共烧高频微波介电陶瓷材料研究.PDFVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 期中進度報告 具低介電係數之低溫共燒高頻微波介電陶瓷材料研究(1/2) 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 100-2622-E-011-002-CC2 執 行 期 間 ：100年03月01日至101年02月29日 執 行 單 位 ：國立臺灣科技大學機械工程系 計 畫 主 持 人 ： 周振嘉 公 開 資 訊 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，研究成果報告(精簡版)2 年後可公開查詢 中 華 民 國 100 年 12月 23 日 中 文 摘 要 ： 降低燒結溫度以及提升品質因子是低溫共燒高頻微波陶瓷最 為重要的課題，因此本研究致力於開發CaMgSi2O6透輝石相 的玻璃陶瓷的開發研究，使用兩階段的熱處理過程，合成玻 璃陶瓷，再利用添加ZrO2做為異質成核的核種，以此達到降 低燒結溫度以及提升品質因子的目的，因此第一年計劃中， 於大氣下950℃燒結，得到介電常數小於10、品質因子高於 8000GHz，符合第一年開發計畫要求。此外並以SEM、TEM、 XRD、網路分析儀等，進行微觀結構與電性行為關聯性的研究 探討，皆有良好成果與合理解釋。 本計畫成果已於數個國際研討會發表相關論文，並已轉投國 際期刊，目前已發表篇數為8 篇SCI 期刊，並持續增加中。 相關衍伸新觀念，已提出國內3 項專利申請，於後期研究中 之相關專利申請亦將持續增加。 中文關鍵詞： 玻璃陶瓷、透輝石、成核劑、熱處理、介電常數 英 文 摘 要 ： Addition of different amount of zirconia (ZrO2) nucleating agent into MgO-CaO-SiO2 system to enhance the quality factor (Q×f) of CaMgSi2O6 diopside glass- ceramic for low sintering temperature process (from 850oC to 950oC) was carried out in this work. The microstructures, microwave dielectric properties and nucleating/growth mechanism of m-ZrO2 added CaMgSi2O6 system were analyzed using transmission electron microscopy (TEM), scanning electron microscopy (SEM) and electrical property measurements. Experimental results demonstrate that a solid solution of an amorphous phase MgO-CaO-SiO2 and ZrO2 forms after