ICF分解实验中的平面调制靶和薄膜靶的研制-中国科技论文在线.PDF

　第38卷第1期 原 子 能 科 学 技 术 Vol. 38 ,No. 1 　2004年1月 Atomic Energy Science and Technology Jan. 2004 ICF 分解实验中的平面调制靶 和薄膜靶的研制 周 　斌 ,孙 　骐 ,黄耀东 ,沈 　军 ,吴广明 ,王 　珏 ( 同济大学 波耳固体物理研究所,上海　200092) 摘要 :本工作研制了用于惯性约束聚变 ICF 分解实验模拟聚变靶丸表面粗糙度和驱动激光空间不均匀 性对 RT 不稳定性作用的平面调制靶和平面薄膜靶。以激光干涉法结合图形转移工艺获得波长 20 ～ μ μ 100 m 、振幅 0 0～4 0 m 的正弦调制图形的模板 ,再将调制图形转移至溴代聚苯乙烯薄膜表面 ,制备 出 ICF 实验用溴代聚苯乙烯平面调制箔靶 ; 以半导体工艺结合自截止腐蚀工艺制得厚度4 μ m 左右的自 支撑 Si 平面薄膜靶。Si 膜的表面粗糙度为几十纳米。对所研制的两种靶型的参数进行了测量。 关键词 :惯性约束聚变 ;平面调制靶 ;平面薄膜靶 中图分类号:O472 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 (2004) Development of Surface Perturbation Target and Thin Silicon Foil Target Used to Research RayleighTaylor Instability in Inertial Conf inement Fusion Experiment ZHOU Bin , SUN Qi , HUAN G Yaodong , SHEN J un , WU Guangming , WAN G J ue ( Pohl Institute of Solid S tate Physics , Tongji U niversity , S hanghai 200092 , China) Abstract :　The developments of the surface perturbation target and the thin silicon foil target used to research RayleighTaylor instability in the resolved experiments of Inertial Confine ment Fusion ( ICF) are carried out . Based on the laser interference process combined with the figuretransfer process , the surface perturbation target with sine modulated perturbation is μ gotten , the wavelength is in the range of 20～100 m and the amplitude is several microme ters. The thin silicon foil with the thickness ab