《智能化扩散硅压力传感变送器的研制论文》-毕业论文.docVIP

山东建筑大学毕业论文 PAGE PAGE II 本科毕业论文 题 目：智能化扩散硅压力传感 变送器的研制 院 （部）：信息与电气工程学院 专 业： 电气工程与自动化 班 级： 电本062 姓 名： 李素粉 学 号：2006081231 指导教师： 李红民 完成日期： 2010年 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc263533862 摘 要 PAGEREF _Toc263533862 \h III HYPERLINK \l _Toc263533863 Abstract PAGEREF _Toc263533863 \h IV HYPERLINK \l _Toc263533864 1 前 言 PAGEREF _Toc263533864 \h 1 HYPERLINK \l _Toc263533865 1.1 压力传感器的国内外发展现状 PAGEREF _Toc263533865 \h 1 1.2 压阻式压力传感器简介 2 HYPERLINK \l _Toc263533866 1.2.1 压阻式压力传感器的结构 PAGEREF _Toc263533866 \h 2 HYPERLINK \l _Toc263533867 1.2.2 压阻式压力传感器的发展 PAGEREF _Toc263533867 \h 2 HYPERLINK \l _Toc263533868 1.2.3 扩散硅压力传感器的应用 PAGEREF _Toc263533868 \h 3 HYPERLINK \l _Toc263533869 1.2.4 扩散硅压力传感器的特点 PAGEREF _Toc263533869 \h 4 HYPERLINK \l _Toc263533870 1.3 扩散硅压力传感器的发展趋势 PAGEREF _Toc263533870 \h 5 HYPERLINK \l _Toc263533871 1.4 本课题所完成的任务 PAGEREF _Toc263533871 \h 6 HYPERLINK \l _Toc263533872 2 扩散硅压力传感变送器的原理 PAGEREF _Toc263533872 \h 7 HYPERLINK \l _Toc263533873 2.1 压阻式压力传感器的机械原理 PAGEREF _Toc263533873 \h 7 HYPERLINK \l _Toc263533874 2.2 压阻式压力传感器的工作原理 PAGEREF _Toc263533874 \h 8 HYPERLINK \l _Toc263533875 3 扩散硅压力传感器的温度补偿原理 PAGEREF _Toc263533875 \h 9 HYPERLINK \l _Toc263533876 3.1 对扩散硅压力传感器进行温度补偿的意义 PAGEREF _Toc263533876 \h 9 HYPERLINK \l _Toc263533877 3.2 零点温度漂移及其补偿 PAGEREF _Toc263533877 \h 10 HYPERLINK \l _Toc263533878 3.2.1 零点温度漂移产生的原因 PAGEREF _Toc263533878 \h 10 3.2.2 零点温度漂移的补偿 10 HYPERLINK \l _Toc263533879 3.3 灵敏度温度系数及其补偿 PAGEREF _Toc263533879 \h 14 HYPERLINK \l _Toc263533880 3.3.1 灵敏度漂移产生的原因 PAGEREF _Toc263533880 \h 14 HYPERLINK \l _Toc263533881 3.3.2 灵敏度漂移补偿措施 PAGEREF _Toc263533881 \h 14 HYPERLINK \l _Toc263533882 3.4 零位温度系数及其补偿 PAGEREF _Toc263533882 \h 14 HYPERLINK \l _Toc263533883 4 扩散硅压力变送器整体方案设计与计算 PAGEREF _Toc263533883 \h 17 HYPERLINK \l _Toc263533884 4.1电源电路 PAGEREF _Toc263533884 \h 17 HYPERLINK \l _Toc263533885 4.1.1 传感器供电电路 PAGEREF _Toc263533885 \h 17 HYPERLINK \l _Toc263533886 4.1.2 信号处理供电电路