基于近场声悬浮的非接触式直线型压电作动器.PDFVIP

中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月 21 24 2010 12 基于近场声悬浮的非接触式直线型压电作动器 孙运涛 陈 超 暋 暋 , , 南京航空航天大学 南京 210016 : ( ) 、 摘要 针对近场声悬浮 NFAL传输在航空航天 高纯度材料加工以及微机电系统装配操作等领域 , 。 , 的良好应用前景 设计出了非接触式直线型压电作动器 该作动器依靠兰杰文振子的振动 产生高声强 。