基于光强传输方程的相位恢复条件-光学精密工程.PDFVIP

第圆猿卷摇 第员园期 摇 光学精密工程 灾燥造援圆猿摇 晕燥援员园 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员缘年员园月摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 韵责贼蚤糟泽葬灶凿孕则藻糟蚤泽蚤燥灶耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早 摇 韵糟贼援 圆园员缘 文章编号摇 员园园源鄄怨圆源载渊圆园员缘冤增鄄园园园园鄄园愿 基于光强传输方程的相位恢复条件 鄢 刘贝贝袁于瀛洁 袁伍小燕袁周文静 渊上海大学精密机械工程系袁上海圆园园园圆冤 摘要院由于基于光强传输方程的相位恢复技术对照明方式尧记录系统和样本有一定的选择性袁本文通过理论分析和数值 模拟分析了光强传输方程相位恢复的适用条件袁并通过实验验证了适用条件的有效性遥 分析认为相位恢复技术需满足 照明光的广义相位为常数曰记录系统为远心光路结构曰样本为光通过时强度变化较小的物体遥 利用源枣 记录系统和无限 远校正光学显微镜系统对微刻玻璃样本进行了验证实验遥 结果显示院源枣 系统恢复的微刻玻璃样本的平均深度为 员援源员滋皂袁与激光共聚焦显微镜的测量结果 员援缘怨滋皂偏差较大曰显微镜系统恢复的微刻玻璃样本的平均深度为员援缘远滋皂袁 与激光共聚焦显微镜的测量结果员援缘怨滋皂比较吻合遥 实验证明袁源枣 记录系统和无限远校正光学显微镜系统可以有效恢 复出物体的相位袁且显微镜系统恢复的相位质量更高遥 关摇 键摇 词院显微测量曰相位恢复曰光强传输方程曰源枣 系统曰显微镜系统 中图分类号院韵源猿远郾员曰栽匀苑源圆摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕韵孕耘援圆园员缘圆猿员猿援园园园园 粤责责造蚤糟葬遭造藻糟燥灶凿蚤贼蚤燥灶泽燥枣责澡葬泽藻则藻贼则蚤藻增葬造遭葬泽藻凿燥灶 贼则葬灶泽责燥则贼燥枣蚤灶贼藻灶泽蚤贼赠藻择怎葬贼蚤燥灶 鄢 蕴陨哉月藻蚤鄄遭藻蚤袁再哉再蚤灶早鄄躁蚤藻 袁宰哉载蚤葬燥鄄赠葬灶袁在匀韵哉宰藻灶鄄躁蚤灶早 渊阅藻责葬则贼皂藻灶贼燥枣孕则藻糟蚤泽蚤燥灶酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁杂澡葬灶早澡葬蚤哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁杂澡葬灶早澡葬蚤圆园园园苑圆袁 悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院赠蚤灶早躁蚤藻赠怎岳泽贼葬枣枣援泽澡怎援藻凿怎援糟灶 粤遭泽贼则葬糟贼院粤泽责澡葬泽藻则藻贼则蚤藻增葬造遭葬泽藻凿燥灶贼澡藻栽则葬灶泽责燥则贼燥枣陨灶贼藻灶泽蚤贼赠耘择怎葬贼蚤燥灶渊栽陨耘冤蚤泽泽藻造藻糟贼蚤增藻葬遭燥怎贼造蚤早澡贼蚤灶早袁 则藻糟燥则凿蚤灶早泽赠泽贼藻皂泽葬灶凿泽葬皂责造藻泽援 贼澡蚤泽责葬责藻则葬灶葬造赠扎藻泽贼澡藻葬责责造蚤糟葬遭造藻糟燥灶凿蚤贼蚤燥灶泽燥枣责澡葬泽藻则藻贼则蚤藻增葬造遭葬泽藻凿燥灶贼澡藻 栽陨耘贼澡则燥怎早澡贼澡藻燥则藻贼蚤糟葬造葬灶葬造赠泽蚤泽葬灶凿灶怎皂藻则蚤糟葬造泽蚤皂怎造葬贼蚤燥灶袁葬灶凿增藻则蚤枣蚤藻泽 贼澡藻藻枣枣藻糟贼蚤增藻灶藻泽泽燥枣贼澡藻葬责责造蚤糟葬遭造藻糟燥灶鄄 凿蚤贼蚤燥灶泽援 陨贼责燥蚤灶贼泽燥怎贼贼澡葬贼贼澡藻责澡葬泽藻则藻贼则蚤藻增葬造蚤泽泽怎蚤贼葬遭造藻枣燥则燥遭躁藻糟贼泽憎蚤贼澡造蚤贼贼造藻蚤灶贼藻灶泽蚤贼赠增葬则蚤葬贼蚤燥灶藻泽责藻糟蚤葬造造赠援 栽澡藻 早藻灶藻则葬造蚤扎藻凿责澡葬泽藻燥枣贼澡藻造蚤早澡贼蚤灶早灶藻藻凿贼燥遭藻葬糟燥灶泽贼葬灶贼援 葬灶凿贼澡藻则藻糟燥则凿蚤灶早泽赠泽贼藻皂泽葬则藻燥枣蚤灶枣蚤灶蚤贼赠燥责贼蚤糟葬造泽贼则怎糟鄄 贼怎则藻援 栽憎燥藻曾责藻则蚤皂藻灶贼泽葬则藻糟燥灶凿怎糟贼藻凿蚤灶葬源枣 泽赠泽贼藻皂葬灶凿葬灶蚤灶枣蚤灶蚤贼赠燥责贼蚤糟葬造皂蚤糟则燥泽糟燥责藻泽赠泽贼藻皂枣燥则葬皂蚤糟则燥鄄藻灶鄄 早则葬增藻凿早造葬泽泽泽葬皂责造藻援 栽澡藻则藻泽怎造贼泽泽澡燥憎贼澡葬贼则藻糟燥增藻则藻凿葬增藻则葬早藻凿藻责贼澡燥枣贼澡藻源枣 则藻糟燥则凿蚤灶早泽赠泽贼藻皂