磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的理论分析与建模-中国机械工程.PDF

磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的理论分析与建模———陈本永 潘科荣 杨 涛等 暋 暋 暋 磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的 理论分析与建模 陈本永 潘科荣 杨 涛 陈 军 姜伟光 郭 亮 暋 暋 暋 暋 暋 暋 暋 暋 , , 浙江理工大学 杭州 310018 : , 摘要 提出了一种基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器 解决了悬浮驱动力与横向力相互 , 。 , ; 耦合的问题 可实现高精度微运动 通过理论分析 建立了该驱动器的驱动力数学模型 采用矢量磁位 、 , 、 、 法 傅里叶级数法和麦克斯韦张量法完成了该驱动器的特征参数辨识 并分析了永磁体材料 尺寸 导线 , 、 。 阵列电流大小以及气隙高度对悬浮力大小的影响 由此得到悬浮力与气隙 电流的关系 实验结果证实 了理论分析与建模的正确性以及该驱动器的实际可行性。 : ; ; ; 关键词 磁场同步跟随 电磁悬浮 微驱动器 Halbach阵列 中图分类号: ; 文章编号: — ( ) — — TM3O444暋暋暋 1004 132X200821 2637 06 AnalsisandModelin ofanElectromaneticLevitationMicro-actuator y g g ChenBenon暋PanKeron暋Yan Tao暋ChenJun暋Jian Weiuan暋GuoLian y g g g g g g g , , Zheian Sci-techUniversit Hanzhou310018 j g y g : AbstractAnovelelectromaneticlevitationmicro-actuatorbasedonthesnchronoustrackin g y g maneticfieldwasroosed.Hih recisionmicro-motionwasavailablebecauseitsolvedcoulin of g p p g p p g susensionforceandlateralforce.Themathematicalmodelofsusensionforceofthismicro-actua灢 p p , torwasanalzedandestablished.The