微电子机械系统（MEMS）-更多文档分类.PDFVIP

微电子机械系统（MEMS ） 郝一龙 ylhao@ime.pku.edu.cn 北大微电子所大楼 引 言 信息系统微型化 – 系统体积大大减小 – 性能、可靠性大幅度上升 – 功耗和价格大幅度降低 信息系统的目标：微型化和集成化 – 微电子解决电子系统的微型化 – 非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键 MEMS——What/When/How/Where Control Electronics Microelectronics System System X MicroX ? 微机电系统—MEMS 美国：MEMS—MicroElectroMehanical System 欧洲：Micro System 日本：Micro Machine 其它：Micro Ｎano 技术 什么是ＭＥＭＳ？ 微机电系统（Micor Electro —Mechanical Systems, MEMS）是在微电子技术的基础上发展起来的，融合了 硅微加工、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技 术，并应用现代信息技术构成的微型系统。它包括感 知和控制外界信息(力、热、光、生、磁、化等)的传 感器和执行器，以及进行信号处理和控制的电路。 MEMS技术 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微 型执行器、信号处理和控制电路、接口电 路、通信系统以及电源于一体的微型机电 系统 MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领 域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有 领域，如电子、机械、光学、物理学、化 学、生物医学、材料科学、能源科学等 力 传 信息存储 执 运 动 光 声 能量 感 行 模拟信 数字信 模拟信 号处理 号处理 号处理 温度 信息 器 化学 器 其它 其它 与其它微系统的通信/接口 （光/ 电/磁） 感测量 控制量 MEMS系统 微米纳米技术的内涵 材料 电子 光学 电磁