【大学课件】数字干涉测量方法及面形的三维干涉测量及评价知识分享.pptVIP

1 数字干涉测量方法及面形的三维干涉测量及评价 一、实验目的 了解激光干涉的近代方法数字干涉技术的原理和方法； 掌握干涉的实时检测技术； 了解数字干涉方法的特点及应用场合； 了解表面三维形貌的高精度实时测量原理； 实测一个平面光学零件的表面形貌并对评价指标PV，RMS的定义有所掌握。 /sundae_meng 4 从而求得被测波面，由下式给出： 为进一步降低噪声，提高测量精度，可用P个周期进行驱动扫描，测量数据作累加平均，即 上式说明孔径内任意一点的位相可由该点上的n×p个光强的采样值计算出来，因此，可获得整个孔径上的位相。除实现自动检测外，还可以测定被测件的三维形貌。 /sundae_meng 5 采用数字干涉测量原理进行面形的三维测量，与前面所不同的是测量中采用了扫描技术，因而可以实现面形的三维测量。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如下图所示。 1．PV值：是表面形貌的最大峰谷值 2．RMS值：是表面形貌的均方根值，RMS的定义是： xi单次测值 N重复测定次数 /sundae_meng 6 三、实验光路 同实验——精密位移量的激光干涉测量方法及实验(加PZT) 四、实验记录 被测工件：平面镜 序号 PV RMS EM 等高图（凹或凸） 1 2 3 4 /sundae_meng