体声波梯形滤波器的布局设计方法.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 30 1 Vol.30 No.1 年 月 , 2018 1 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jan. 2018 体声波梯形滤波器的布局设计方法* , , 1 23 1 13 张大鹏 , 高 杨 , 贾 乐 , 文数文 ( , ; , ; 1.西南科技大学 信息工程学院 四川 绵阳 621010 2.中国工程物理研究院 电子工程研究所 四川 绵阳 621999 ( ), ) 3.核探测与核电子学国家重点实验室 中国科学院高能物理研究所 北京 100049 : , , , ( ) 摘 要 为保证滤波器性能 缩小滤波器体积 提高晶圆上的芯片数量 提出一种体声波 梯形滤 BAW 。 。 ( ) 波器布局的设计方法 该方法包括 条设计准则和设计流程 条设计准则限制体声波谐振器 的 11 11 BAWR 、 , , 。 :() 形状 位置 之间的距离 与焊盘的距离和互连线 设计流程有 个步骤 根据每个 BAWR BAWR 7 1 BAWR , ;() , ;()“ ” ;() 的有效面积 预设每个 BAWR的形状 2根据 BAW梯形滤波器电路结构 排列 BAWR 3 压缩 布局 4 、 ;() ;() ;() 对 切趾 微调和旋转 对 和焊盘布线 检测滤波器布局是否符合设计准则 使用声 电 BAWR 5 BAWR 6 7 - , 。 , 磁联合仿真 验证滤波器布局结果 以 个 串并联而成的 阶 梯形滤波器为案例 展示了该方 10 BAWR 5 BAW