CMOSMEMS-国立彰化师范大学.PDF

CMOS微機電於生活中的應用 Carrier LED Array 國立彰化師範大學 機電工程學系 沈志雄副教授 科學家在做些什麼 微光機電系統整合 半導體 微機電元件 光機 Process 光微機電產業與應用 CMOS MEMS應用 加速計 麥克風 陀螺儀 氣體感測器