基于DSP的静电悬浮转子微陀螺测控系统.PDFVIP

第22卷 第2期 传 感 技 术 学 报 VO1．22 No．2 2009年 2月 CHINESEJ0URNAL OF SENSORSAND ACTUATORS Feb．2009 System forMicroGyroscopewithLevi LIUKai，ZHANGWei—ping ，CHENWen—yuan ，ZHOUHaiffun，XIAOQi~iun，MAGao—yin，LIKai ／KeyLaboratoryofThinFilmandMicroFabricationTechnology，KeyLaboratoryofStateDenfence 、 Micro-NanoFabrication．ResearchInstituteofM icro—NanoTechnology，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200030，China， Abstract：Thisthesisdevelopssavisualcontrolsystem formicrogyroscopewith levitatedrotorbasedon D