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MEMS设计理论 MEMS Design Theory 教学大纲 课程名称：MEMS设计理论 课程编码：M683003 课程学分：32 适用学科：机械工程类各专业 一、课程性质 本课程是机械工程类专业硕士研究生的一门专业必修（或选修）课程，内容适当删减后也可作为机械工程专业本科高年级学生的一门专业选修课程，是机械设计及理论二级学科硕士点的专业必修课程，是机械电子工程和机械制造及其自动化二级学科硕士点的专业选修课程。 微机电系统（MEMS）是二十世纪九十年代发展起来的一门多种学科交叉而成的新兴学科。它涉及微电子、微细加工、微机械、材料学、信息与控制等技术科学，并紧密依靠数学、物理、化学、力学、生物等基础学科，广泛应用于空间技术、信息技术、生物医药技术及其他新技术之中。它的发展推进人类认识和改造客观世界的能力，因此MEMS在21世纪倍受人们的关注，成为21世纪制造业的重要方面之一。本课程较全面地介绍MEMS的设计理论与方法，并指出其未来发展动向，为机械工程专业硕士研究生从事相关技术研究奠定必要的知识基础。 二、课程教学目的 本课程的开设是为了让学生了解微机电系统这门新兴学科，掌握其学科内涵、基本原理、基本设计理念、设计方法等，进而能运用这些基础理论知识和方法对微机械电子学领域中与本专业相关的前沿技术问题进行独立地探索研究，或对已有的微机电系统进行较深入系统地分析研究。 三、教学基本内容及基本要求 基本内容： 微机械电子学的起源、定义、特点、分类和主要研究领域与方展方向 微机械系统中的制造技术和常用制造材料 微机械系统的微观尺度效应 微传感器和致动器的基本结构和工作原理 微机械系统设计和分析方法理论基础 典型MEMS器件设计流程和方法 基本要求： 了解MEMS技术的特点和发展状况，理解微尺度下的物理效应和材料特性，掌握微机械机构的设计理论，能对简单的MEMS机构进行理论分析和设计。深入了解MEMS器件的工作原理和设计方法，理解和掌握微机械结构设计制造的基本理论和微结构表征测试原理。能对典型的微机电系统进行较深入的理论和技术分析，能在教师指导下利用专业软件设计分析简单的微机械系统。 四、本课程与其他课程的联系与分工 本课程是机械工程学科相关硕士研究生的必修（或选修）专业课程，是多学科深度交叉的综合技术。对于机械工程类专业硕士研究生，以机为主，机电结合、在学习本课程之前应具有机械设计、弹性力学、自动控制原理、传感器原理、检测技术等方面的基础知识。 五、实践环节教学内容的安排与要求 从以下内容选择其一： 1）大作业：运用有限元软件模拟分析简单的MEMS系统（需要课外上机8小时）。 2）演示：一种典型的微传感器或微驱动器等MEMS器件的工作原理、结构理论分析和设计方法。 六、本课程课外练习的要求 为掌握、理解、了解课程内容，对于要求掌握和理解的有关内容配以适量的习题。习题总量为3－6道，习题的形式应采用设计题、分析计算题、论文报告等形式，以对应要求掌握、理解、了解的有关内容。 七、本课程的教学方法及使用现代化教学手段方面的要求 本课程的理论内容较多，难度较大。为便于学生学习，应充分利用多媒体教学手段，就有关艰深的理论内容给予形象的解释。为扩大研究生的知识面，了解当前机器人技术的前沿研究领域，可在授课中穿插适当数量的图片、录像等内容，以增加学生的学习兴趣。 八、本课程成绩的考查方法及评定标准 考核形式：论文报告； 考核内容：根据MEMS实验室当年研究主题公布题目。 考核要求：4000字。 评定标准：100分制。 九、教材及参考书 教材： Microsystem Design（Stephen D. Senturia，Kluwer Academic Publishers，2001年） 参考书： ［1］动态微机电系统——理论与应用（何广平等，科学出版社，2012年） ［2］（美）徐泰然著，王晓浩 等译，《MEMS和微系统——设计与制造》，机械工业出版社，2004年。 ［3］刘广玉 樊尚春 周浩敏 编著，《微机械电子系统及其应用》，北京航空航天大学出版社，2003年。 ［4］周兆英等，《微系统和纳米技术》，科学出版社，2007年。 十、课程各章节学时分配 章节 内容 总学时 讲授课时 讨论、论文、实验、设计 备注 第一章 绪论 微机电系统的定义和特征 微机电系统的起源和发展 微机电系统的应用概论 6 6 0 第二章 微机电系统的制造技术概论 图形转换技术 集成工艺技术 硅基材料及其它相关材料 功能薄膜材料 微机电系统的测量技术概论 2 2 0 第三章 尺度的介绍 几何结构学中的尺度 刚体力学中的尺度 静电力中的尺度 电磁力中的尺度 电学中的尺度 流体力学中的尺度 热传递中的尺度 薄板的静力弯曲 4 4 0 第四章 微尺度弹性力学 微尺度结