《利用椭偏法对介质膜厚度和折射率的测量研究》-毕业论文.docVIP

PAGE PAGE 2  本科毕业论文(设计) 题 目 利用椭偏法对介质膜厚度和折 射率的测量研究 利用椭偏法对介质膜厚度和折射率的测量研究 摘 要：本文介绍了一种利用光学偏振多光束干涉原理测量介质膜厚度及折射率的方法。利用椭圆偏振仪对介质膜厚度和折射率的测量，并通过椭圆偏振仪数据分析软件处理得出介质膜的厚度和折射率。该方法具有方便快速、精度高，且对样品无损伤等优点。 关键词：椭圆偏振仪；介质膜；厚度；折射率。 Abstract: This article describes the use of optical polarization of a multi-beam interference principle dielectric film thickness measurement method and the refractive index. Ellipsometer use of dielectric film thickness and refractive index measurement, and Ellipsometer data analysis software derived dielectric film thickness and refractive index. The method is convenient and fast, high precision and no damage to the samples and so on. Key words：Elliptical polarization meter, medium membrane, thickness, refractive index 一、引言 在近代科学技术的许多部门中对各种薄膜的研究和应用日益广泛，因此更精确和迅速地测定薄膜的某些光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作测量中利用椭圆偏振法测介质膜的厚度和折射率具有独特的优点，这种方法用来测介质膜的折射率和厚度精度较高，并且是非破坏性测量，它能够同时测定膜的厚度和折射率，比较灵敏，因而目前椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸方面得到较为广泛的应用。 二、测量原理 将一束自然光通过起偏器后变成线偏振光，再经1/4波片后，使它变成椭圆偏振光照射在待测的介质膜面上。当光束反射时，光的偏振状态将发生变化，通过检测这种变化，便可以推算出待测膜的厚度和折射率。 图1所示为一光学均匀和各向同性的单层介质膜。它有两个平行的界面。通常，上部是折射率为的空气（或真空）。中间是一层厚度为，折射率为的介质薄膜，均匀地附在折射率为的衬底上。当一束光射到膜面上时，在界面1和界面2上形成多次反射和折射，并且各反射光和折射光分别产生多光束干涉，其干涉结果反应了介质膜的光学特性。 界面 = 1 \* ROMAN I界面 界面 = 1 \* ROMAN I 界面 = 2 \* ROMAN II kkkkkk 空气 薄膜 衬底 d P p s 图1 图1 单层介质膜的多光束干涉图 设表示光的入射角，和分别为在界面 = 1 \* ROMAN I和界面 = 2 \* ROMAN II上的折射角，根据折射定律有 (2-1) 光波的电场矢量可以分解成在入射面内振动的分量和垂直于入射面振动的分量。若用和分别代表入射光波的和分量，用及分别代表各束反射光，， = 2 \* ROMAN II ， = 3 \* ROMAN III，…中电矢量的分量之和及分量之和。由菲涅尔反射公式，可以分别给出波、波的振幅反射率： 对空气—薄膜界面 = 1 \* ROMAN I： (2-2) (2-3) 对薄膜—衬底界面 = 2 \* ROMAN II： (2-4) (2-5) 再由图1可算出任意两相邻反射光之间的光程差 ， (2-6) 因而反射光，， = 2 \* ROMAN II ， = 3 \* ROMAN III，…的相位依次落后2： ， (2-7) 于是得 (2-8) 另一方面，由多束光干涉原理来考察空气—薄膜—衬底作为一个整体的总反射系数，以和分别表示这个系统对p波和s波的总反射系数。从图1可以看出，对p波，R由，， = 2 \* ROMAN II ，…各级反射光叠加合成。设入射的p波振幅为1。在界面 = 1 \* ROMAN I 处，光线由的反射率记为，透射率记为；光线由的反射率记为透射率