循环液温调装置／水冷却式恒温器.PDF

循環液溫調裝置 ／水冷卻式恆溫器 HRW Series ® SEMATECH SEMI Standard S2-93, S8-95 S2-0703, S8-1103, F47-0200 HRS HRS 不使用冷凍機 ， 冷媒 省能源型 。 090 HRS 最適合常溫高溫的製程 。 100/150 HRSH 090 循環液種類 氟素化液、 乙二醇水溶液、 HRSH 清水 去離子水（純水） HRSE HRZ 設定溫度範圍 ： ℃ 20 90 HRZD HRW 冷卻能力 HRW 2kW8kW15kW30kW 溫度安定性 0.3 HECR HEC 使用變頻幫浦 變頻式 HEB 實現更大幅度的省能源效果。 消耗電力 HED 0.5kWh/h HEA IDH 放熱水量 1.2L/min 1 省能源冷媒