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压阻式压力传感器的设计与应用
摘 要
压阻式压力传感器是利用半导体材料硅的压阻效应制成的传感器,具有灵敏
度高,动态响应快,测量精度高,稳定性好,工作温度范围宽,易于小型与微型
化,便于批量生产与使用方便等特点。
论文中介绍了国内外研究现状,分析了补偿方法,同时介绍了现代信号调理技术的发展。
本论文应用智能化的模拟一数字混合信号调理技术,采用MAX1457.经调理后的传感器综合误差不超过0.1 %。MAX1457是一种专用传感器信号调理芯片。此芯片集成化程度较高,可以补偿硅压阻式压力传感器的温度误
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