二维自由度DVD雷射量测PZT微动定位系统之研制-工程科技推展中心.PDFVIP

行 度 雷量 精 類 行 年年 行 參理 李 理不 理 年 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 二維自由度 DVD 雷射量測 PZT 微動定位系統之研製 計畫類別：■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號： NSC95 －2221－E－253－019－ 執行期間： 95 年 8 月 1 日至 96 年 7 月 31 日 計畫主持人：童景賢 南亞技術學院機械系 計畫參與人員： 陳偉弘、李自強、黃振銘 南亞技術學院機械系日四技三年級 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：■精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位： 南亞技術學院機械系 中 華 民 國 96 年 10 月 29 日 1 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 二維自由度 DVD 雷射量測 PZT 微動定位系統之研製 Development of a 2-DOF DVD Laser Probing PZT Micro Positioning System 計 畫 編 號： NSC 95-2221-E-253-019- 執 行 期 限：95 年 08月 01日至 96 年 07月 31日 主 持 人：童景賢 南亞技術學院機械系 計畫參與人員：陳偉弘 南亞技術學院機械系日四技三年級 李自強 南亞技術學院機械系日四技三年級 黃振銘 南亞技術學院機械系日四技三年級 來測量定位系統上XY兩軸之位移量。此兩 一、中文摘要 套自行研製 DVD 雷射探頭的成本約只有一 隨著科技的日新月異，已經從微米時 套市面上雷射干涉儀售價的二百分之一， 代走入了奈米時代，而在奈米科技領域中， 而其精度可達到±100 奈米，如此將可大為 有許多的應用都需要高 精度的微定