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传感器原理及工程应用（论文） 合金薄膜压 力传感器的应用 学生姓名：张志强 指导教师：任爽 所在学院：信息技术学院 专 业：电气工程及其自动化 学 号：20094073120 中国·大庆 2011 年 12 月 － PAGE I－ 目录 TOC \o 1-2 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc312359922 前言 PAGEREF _Toc312359922 \h II HYPERLINK \l _Toc312359923 1 合金薄膜压力传感器工作原理 PAGEREF _Toc312359923 \h 1 HYPERLINK \l _Toc312359924 2 合金薄膜高温压力传感器研究现状 PAGEREF _Toc312359924 \h 2 HYPERLINK \l _Toc312359925 2.1 镍铬系合金薄膜压力传感器 PAGEREF _Toc312359925 \h 2 HYPERLINK \l _Toc312359926 2.2 铂钨合金薄膜压力传感器 PAGEREF _Toc312359926 \h 3 HYPERLINK \l _Toc312359927 2.3 钯铬合金薄膜应变计 PAGEREF _Toc312359927 \h 4 HYPERLINK \l _Toc312359928 3