光谱共焦传感器.pdf

光光谱谱共共焦焦传传感感器器 透-透明明及及多多层层材材料料，，镜镜面面之之位位移移厚厚度度解解决决方方案案 非-非接接触触精精准准量量测测各各种种材材质质 振振 联联 科科 技技 有有 限限 公公 司司 www.sa nte 非接触/高精度/高性价比 SA K彩 色光谱 共焦传感器 是一种精度 可达次微纳米量级 的非接触 式位移量测系 统， 可精准测 量漫反射/镜 面反射及透 明多层材质 的位移,厚度,也适合深孔/盲孔 工件等 运用 。 原理 利用特制 的彩色编码镜头使可见光产生轴 向色散输 出， 并经 由光谱解析器解析共 焦 回传光波讯号， 最后透过波长与位移转换 曲线计算 出工件位移量测值 。 共焦 回传光波讯号 ) 光谱解析器 s t n u o c ( 可见光源 强 光 彩色编码 位移(mm) 波长(nm) 传感测头 工件 量测值 波长与位移转换曲线 波长(nm) 光光谱谱共共焦焦优优于于传传统统测测试试 彩彩色色共共焦焦位位移移传传器器 传统三角测距传统三角测距 彩彩色色共共焦焦位位移移传传感感器器不不但但精精度度 高高于于传传统统三三角角测测距距传传感感器器，，量量 无回传光 测测不不同同材材质质或或不不同同形形貌貌之之工工件件 回传光 回传光 时时亦亦能能获获的的稳稳定定一一致致结结果果。。 受阻 偏移 深孔工件 倾斜面工件 透明/高光工件 材质 金属 玻璃 镜面 陶瓷 线性度(µm) ±0.5 ±2 × ±3 × ±4 × :彩色共焦位移传感器 ±5 × :传统三角激光传感器 - 1- 优势及特点 稳定量测各类材质，例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等 。 稳定量