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基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计潘海彬 doi:10.3969/j.issn.1671-7775.2010.04.016 基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计 潘海彬1,2,丁建宁2,3,李伯全，罗开玉,王小飞111 (1.江苏大学机械工程学院，江苏镇江212013;2.江苏大学微纳米科学技 术研究中心，江苏镇江212013;3.江苏工业学院低维材料微纳器件与系统研 宄中心，江苏常州213164) :基于虚拟仪器技术及Rymaszewski四探针双电测组合法设计了薄 膜电阻率白动化测量系统.在虚拟仪器软件LabVIEW和数字量输出模块 NI9401的控制下，利用基于CD4052芯片的接口电路实现电流探针、电压探 针的自动切换，并通过LabVIEW程序控制Keithley2400数字源表实现两次电 压测量;同时根据两次电压测量结果由LabVIEW程序完成范德堡修正因子 和方块电阻的计算;最终实现薄膜电阻率自动测量、记录和显示.试验结果 表明,所设计的自动测量系统不仅可以满足多种薄膜电阻率测量要求，而且 提高丫测量精度和自动化程度,同时精简丫薄膜电阻率测量过程. 关键词:虚拟仪器;方块电阻;薄膜电阻率;四探针双电测组合法;范德堡 修正因子 :TP216 :A 文章编 号:1671-7775(2010)04-0447-05 Designofthinfilmresistivity