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慢正电子束研究薄膜界面和近表面微观结构!
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实验技术
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慢正电子束研究薄膜、界面和近表面微观结构 !
翁惠民 周先意 叶邦角 杜江峰 韩荣典
（中国科学技术大学近代物理系 合肥 ）
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摘 要 慢正电子束技术是近十几年来发展起来的探测材料近表面微结构的新手段 文章介绍了其在薄膜、界面
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和近表面测量的基本方法和部分应用结果*
关键词 慢正电子束， 参数，界面，缺陷
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引言 相变等微观结构十分有效的工具 ! 这样，通过测
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量不同深度正电子湮没的 光子能谱或寿命，就可
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在凝聚态物理和材料科学中，表面和近表面的 以得到不同深度的微观结构的特征及分布 这对于
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物质结构状况，往往决定着许多物理和化学性质 通 分析固体近表面、离子注入区、各种应变层、薄膜和
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