低介微波介质陶瓷及 BST 基铁电陶瓷的凝胶注模制备技术及其性能研究-微电子学与固体电子学专业论文.docx

独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师的指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已标明引用的内容外，本论文不 包含任何其他人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出 贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明 的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即： 学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许 论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段 保存和汇编本学位论文。 保 密□，在 年解密后适用本授权书。 本论文属于  不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华中科技大学博士学位论文 华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 I I 摘 要 在阅读大量文献的基础上，结合科研项目的实际需要，本文以 0.9Al2O3-0.1TiO2 和 90 wt.% (0.75ZnAl2O4-0.25TiO2)-10 wt.% MgTiO3 (ZTM)低介微波介质陶瓷以及 45 wt% Ba0.6Sr0.4TiO3-55 wt% MgO (BSTM)铁电陶瓷为研究对象，采用凝胶注模工艺制备 了这三类陶瓷材料，系统研究了制备方法对这些陶瓷材料相组成、微观结构以及相关 性能的影响。 首先在简单介绍陶瓷浆料流变学特性及丙烯酰胺凝胶体系凝胶固化原理的基础 上，研究了 pH 值、分散剂以及固相含量对陶瓷浆料的流变学特性的影响，并研究了 环境温度、引发剂和催化剂加入量以及单体浓度对陶瓷浆料凝胶固化速率的影响。 采用水基凝胶注模工艺和干压法制备了 0.9Al2O3-0.1TiO2 陶瓷。研究了制备工艺 对 0.9Al2O3-0.1TiO2 陶瓷的相组成、微观结构以及微波介电性能的影响。通过采用合 适的粉体预烧温度和连续缓慢的降温处理，消除了 Al2TiO5 第二相，在最终制备得到 的 0.9Al2O3-0.1TiO2 陶瓷中只存在 Al2O3 和 TiO2 两相。与干压法相比，采用水基凝胶 注模工艺制备的 0.9Al2O3-0.1TiO2 陶瓷的气孔较少、晶粒较大且分布更加均匀。此外， 采用水基凝胶注模工艺制备 0.9Al2O3-0.1TiO2 陶瓷能够有效改善其微波介电性能。基 于分步干燥法和缓慢的排胶制度，采用水基凝胶注模工艺制备了完整的大尺寸、复杂 形状的 0.9Al2O3-0.1TiO2 陶瓷部件。 采用水基凝胶注模工艺和干压法制备了 ZTM 陶瓷。研究了制备工艺对 ZTM 陶瓷 的相组成、微观结构以及微波介电性能的影响。结果表明，无论采用哪种制备方法， 制备的 ZTM 陶瓷的相组成都是一样的。与干压法相比，采用水基凝胶注模工艺制备 的 ZTM 陶瓷的气孔较少、晶粒较大且分布更加均匀。此外，采用水基凝胶注模工艺 制备 ZTM 陶瓷不但可以有效改善其微波介电性能，而且还能够在一定程度上降低其 烧结温度。基于分步干燥法和缓慢的排胶制度，采用水基凝胶注模工艺制备了 ZTM 微波介质天线基板，最后制备出可以满足实际应用要求的 GPS 天线。 采用水基、半水基凝胶注模工艺以及干压法制备了 BSTM 铁电陶瓷。研究了制备 工艺对 BSTM 陶瓷的相组成和微观结构的影响。结果表明，无论采用哪种制备方法， 制备的 BSTM 陶瓷的相组成都是一样的。同时，采用水基和半水基凝胶注模工艺制备 II II 的 BSTM 陶瓷的微观结构都比较均匀。 采用非水基凝胶注模工艺和干压法制备了 BSTM 陶瓷。研究了制备工艺对 BSTM 陶瓷的相组成、微观结构以及介电性能的影响。结果表明，无论采用哪种制备方法， 制备的 BSTM 陶瓷的相组成都是一样的。与干压法相比，采用非水基凝胶注模工艺制 备的 BSTM 陶瓷的微观结构更加均匀。此外，采用非水基凝胶注模工艺制备 BSTM 陶瓷不但能够改善其性能的稳定性，而且还能够在一定程度上改善其介电性能。 采用水基凝胶注模工艺辅助固相反应法(AGASSM)与固相反应法(SSM)制备了 BSTM 陶瓷粉体。研究了陶瓷粉体制备方法对制备的陶瓷粉体的相组成和微观结构的 影响。随后采用干压法成型，研究了陶瓷粉体制备方法对最终制备的 BSTM 陶瓷的相 组成、微观结构以及介电性能的影响。结果表明，与 SSM 相比，采用 AGASSM 制备 的 BSTM 陶瓷粉体粒径更小(Dav = 1.00 ?m )、呈球状，而且分布更加均匀。无论采用 哪种粉体制备方法，制备的 BSTM 陶瓷粉体以及用该陶瓷