带通Σ Δ调制微陀螺检测系统的设计-集成电路工程专业论文.docx

Classified Index: TP212 U.D.C: 621.38 Dissertation for the Master’s Degree in Engineering DESIGN OF BAND-PASS Σ-Δ MODULATION DETECTION SYSTEM FOR MICRO-GYROSCOPE Candidate： Yu Pingshan Supervisor： Prof. Liu Xiaowei Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Integrate Circuit Engineering Affiliation： Department of Microelectronics Science and Technology Date of Defence： June,2011 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学硕士学位论文 哈尔滨工业大学硕士学位论文 摘 要 随着微电子工艺的发展，当今的应用传感器逐步向微型化设计的方向转变， 深入人们的生活，微陀螺是较为常用的传感器之一，它具有诸多优点，如体积 小、可靠性高、成本低、可批量生产等优点，不仅在日常生活中起了很大的作 用，更在军用等方面发挥着巨大的作用。随着科技的进一步提高，高性能微陀 螺的也成为了市场的高度需求品。但是微陀螺由于驱动电路产生的驱动信号影 响其灵敏度和检测精度，针对这种情况，本文研究了以 Σ-Δ 调制技术为基础的 一种带通微陀螺检测接口电路的设计。 本论文分析了微陀螺接口电路的工作原理，在此基础上，对 Σ-Δ 调制技术 进行理论分析，同时，建立了微陀螺检测模态的等效电学模型，并对其进行理 想分析，再通过系统的各个模块，分别设计出相应的运放以及各种电路。 总体的设计流程如下，首先，利用 matlab 软件下的 simulink 工具包建立微 机械陀螺检测系统模型，通过分析计算，对其可行性进行验证；其次，利用 Hspice 对系统的相应电路模块进行分析及设计，实验室采取的是 0.5 μm 的工艺参数。 最后，利用仿真工具对其总体的检测电路进行仿真分析。 通过以 Σ-Δ 调制技术为基础的带通微陀螺的电路设计与研究，可以得出， 其对微陀螺的高性能起着很大的作用，令其检测的灵敏度以及精确度得到很大 的提高。 关键词：Σ-Δ 调制；陀螺；电路；检测；系统模型 - I - Abstract With the development of microelectronics technology, today’s application of sensors designed gradually change to the the direction of miniaturization, in-depth peoples lives, Micro-gyroscope is one of the more commonly used sensors, It has many advantages, Such as small size, high reliability, low cost, mass production, etc. Not only in everyday life played an important role, but also in the military has played a huge role. As technology further improved, high-performance micro-gyroscope has become the markets high demand products, However, the drive circuit gyro drive signals generated affect its sensitivity and detection accuracy, To address this situation, In this paper, the Σ-Δ modulation technique based on detection of a band-pass micro-gyroscope interface circuit design. This paper analyzes the micro-gyroscope interface circuit work, on this basis, Σ-Δ modulation of the the