西安电子科技大学半导体物理课件——第七章_金属和半导体的接触.pdf

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西安电子科技大学半导体物理课件——第七章_金属和半导体的接触

第七章 金属和半导体的接触 主 讲:施 建 章 E-Mail: jzhshi@mail.xidian.edu.cn 西安电子科技大学技术物理学院 二零零七年九月 第七章 金属和半导体的接触 主 要 内 容 一、金属和半导体接触的能级图 二、金属半导体接触整流理论 三、金属半导体的欧姆接触 金属的功函数 金属功函数 W E E ( −) m 0 F m 1. 金属功函数的值与表面状况有关; 2. 金属功函数随原子序数的递增呈现周期性变化。 金属的功函数 半导体的功函数 半导体功函数 W E E ( −) s 0 F s 电子亲和能 Eχ E0 − c 故 W E [ E ( χ)+] − χ +E s c F s n 其中 E E E ( −) n c F s 半导体的功函数 ** 半导体的费米能级与掺杂浓度有关,故其功函数与杂质浓度也紧密相关! 接触电势差 ! 以金属与n型半导体相接触为例,且假设W W 。 m s 金属和半导体间距离D很大时的接触电势差: W W − s m V V V − ′ ms m s q 接触电势差 ! 以金属与n型半导体相接触为例,且假设W W 。 m s 随着距离D的减小,空间电荷区变宽,半导体表面产生电势差Vs, 此时: W W − s m V +V ms s q 接触电势差 ! 以金属与n型半导体相接触为例,且假设W W 。 m s 当金属和半导体紧密接触时,电势全部落在空间电荷区,此时: W W −

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