低温烧结M型钡铁氧体研究-电子信息材料与元器件专业论文.docx

万方数据 万方数据 RESEACH ON M-TYPE BA FERRITE MATERIALS PREPARED BY LOW TEMPERATURE CO-FIRE A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Electrotronic information materials and components Author: Gui Peng Advisor: Prof. Liu Ying Li School: School of Microelectronics and Solid-State Electronics 万方数据 万方数据 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘要 AB ABSTRACT 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 摘要 本文的工作是采用氧化物法工艺制造毫米波旋磁铁氧体器件用的六角 M 型钡 铁氧体材料，并研究了它的表征形貌及成分以及相关磁性能的改变和如何实现低 温烧结。旨在通过采用氧化物法工艺制备标准 M 型钡铁氧体材料，通过掺杂改变 材料的基本磁性能，并且研究了材料的低温烧结。因为 LTCC 工艺的关键步骤要 求铁氧体材料要能与内导体和陶瓷结构形成共烧，通常烧结温度较低，为 850℃——950℃，所以实现 M 型钡铁氧体的低温烧结非常关键，同时还要求材料 达到一定的性能指标。 实验过程中首先是确定实验工艺，为了制备具有良好微观形貌，成分均匀且 具有一定高频磁性能的 M 型钡铁氧体材料，采用单一改变变量法，研究了预烧温 度，一次球磨时间，二次球磨时间对材料的影响，并找出最优制备工艺。然后在 低温烧结时主要是对助烧剂的研究来降低烧结温度，采用了复合型玻璃 BBSZ 来 实现 M 型钡铁氧体的低温烧结，并测试低温烧结材料的性能，最后通过 Zn-Ti 掺 杂对 M 型铁氧体材料进行改性，同时选取了 3 个低温烧结点来研究材料的饱和磁 化强度，矫顽力等的变化。通过对钡铁氧体掺杂实现了低温烧结，由于 M 型钡铁 氧体具有的高磁晶各向异性内场，降低烧结温度使其有望实现通过 LTCF(低温共 烧铁氧体)技术研制片式化的微波/毫米波旋磁器件。 关键字： 低温共烧铁氧体(LTCF)，M 型钡铁氧体，BBSZ 助烧，Zn-Ti 掺杂 I ABSTRACT The work of this paper is to research using the ceramics technology manufacturing millimeter-wave gyromagnetic ferrite component’s hex M-type Ba ferrite materials used for characterization of morphology and composition as well as the related magnetic change and how to realize low temperature co-fire. M-type Ba ferrite materials was prepared by the oxide method .Using adjusting to change the basic magnetic materials, and studing materials of low temperature co-fire technology.Because the key step in the LTCC technology requires ferrite materials need to be able to burn with inner conductor and ceramic str