第06章节 薄膜晶体管的工作原理新.pptVIP

第6章 薄膜晶体管的工作原理 主讲人：王丽娟 长春工业大学 2013年02月10日 * * 平板显示技术基础，2013年，北京大学出版社 本章主要内容 6.1 薄膜晶体管的半导体基础 6.2 MOS场效应晶体管 6.3 薄膜晶体管的工作原理 6.4 薄膜晶体管的直流特性 6.5 薄膜晶体管的主要参数 本征半导体及杂质半导体 能带、施主与受主 载流子及散射 电导现象、迁移率、电导率 6.1 TFT的半导体基础 本征半导体 自由电子 空穴 共价键 Si Si Si Si 本征半导体中自由 电子和空穴的形成 本征半导体就是完全纯净的、具有晶体结构的半导体。 6.1 TFT的半导体基础 Si Si 空穴移动方向 电子移动方向 外电场方向 Si Si Si Si Si 本征半导体 可见在半导体中有自由电子和空穴两种载流子，它们都能参与导电。 6.1 TFT的半导体基础 n型半导体和p型半导体 Si Si Si Si Si Si Si P 多余价电子 Si Si Si Si Si Si Si B 空位 B 空穴 价电子填补空位 自由电子的数量大大增加 N 型半导体 空穴的数量大大增加 P 型半导体 6.1 TFT的半导体基础 费米能级 6.1 TFT的半导体基础 p型半导体 n型半导体 本征半导体 Ec Ev EF Ei Ec Ev EF Ei Ec E