电子束镀膜 - 清华大学深圳研究生院.docxVIP

附： 购置需求 一、应用背景 电子束镀膜设备是在工业中比较常使用的薄膜制造设备，是高精度薄膜的理想镀制设备，用于开发纳米级功能膜和复合膜，还可镀介质、 金属 、半导体、化合物等功能膜。在微流控芯片、角膜接触镜等微小型结构的检测方面，利用微机电技术制备微型电极非常重要，也是我们此次采购电子束镀膜设备的原因。而电子束镀膜设备中的电子束加热的方法与传统的电阻加热的方法相比较，电子束加热会产生更高的通量密度，对于高熔点的材料的蒸发比较有利，而且还可以使的蒸发的速率得到一定程度上的提高；蒸发镀膜机在工作的时候会将需要被蒸发的原材料放入到水冷铜坩埚内，这样就可以保证材料避免被污染，可以制造纯度比较高的薄膜。电子束蒸发的粒子动能比较的大，这样会有利于薄膜的精密性和结合力。 二、基本配置 1、真空机组 1-1直联机械泵 1台 1-2分子泵 1台 2、真空室直径≥500,SUS304不锈钢材料 3、阀门管道：不锈钢材 4、工件机构整球面，公转 5、真空测量控制仪：复合真空计 6、烘烤系统下烘烤，卤钨灯加热管，温度可控可调 7、电阻蒸发源：1组 5KW 8、电子束蒸发源 8-1电子功率：8KW 8-2阳极电压：6-8KV 8-3坩埚位数：4 穴 9、充气系统：流量计1套 10、电器控制系统：触摸屏控制 11、配套设备： 11-1冷水机 1台：冷却水源：工业纯水，水压0.2～0.3Mpa,水量＞40L/min，进水温度≤25℃。 11-2空压机1台：气压0.6Mpa. 12、安全保护装置：蒸发源及水流均有断水及报警保护 三、主要性能指标 1、真空室 1-1 尺寸：直径≧500; 真空室形式为箱式前开门，室门、箱体外壁、高阀等均通冷却水，所有冷却水管采用半圆不锈钢管焊接，并确保冷却良好。 1-2 真空室主体材料为SUS304不锈钢焊接，高温退火消上除材料的应力，保证设备长期使用不变形。 1-3 设备的主进、出水管均采用不锈钢管，主进水管处有水压表；所有冷却部位均要求单独供水，供水管采用透明高压软管，要求进、出水软管有颜色区分及对应标识 2、抽气性能 2-1 极限真空：优于5.0×10-4Pa。 2-2 抽气时间：大气→3×10-3 Pa≤15min（空载） 2-3 升压率（保压）：60分钟真空度应≤6×10-1Pa 3、主机总功率 总功率约20KVA（三相四线+地线），总电源接入电缆及辅助设备由用户负责。 4、配套设备 4-1 冷却循环水机：冷水5-25℃供给，流量5T/H、水压0.25～0.3Mpa。 4-2 空压机： 压缩空气，压力0.5~0.6Mpa。 四、其他配置指标 序号 货物名称 规格型号 数量 单价（元） 备注 1 随机附件 2 直联机械泵 3L 1台 3 复合真空计 数显 1套 4 冷水机 3P 1台 5 空压机 1台 6 易损件 7 钨舟 1只 4 8 电子束阳极罩 SG-L003 1件 9 电子束阴极罩 SG-U004-Ⅱ 1件 10 电子束灯丝 SG-L005 1只 11 电子枪瓷钉 JYK-044 1个 12 电子束瓷柱 SG-013 1个 13 电子束瓷板 SG-014 1个 14 电阻规管 ZJ-52T(金属） 1支 15 电离规管 ZJ-27(玻璃） 1支 16 真空泵油 100# 1听 17 分子泵油 1听 18 备品备件价 19 钨舟 3只 20 电子束灯丝 SG-L005 1只 21 电子枪瓷钉 JYK-044 1个 22 电子束瓷柱 SG-013 4个 23 密封圈 1套 24 专用工具价 1套 备注：以上项目均计入总价 1）根据购置需求配备仪器设备必需的随机附件、易损件及备件、设备操作和维修的专用工具。将以上附件、备件（包括操作工具）、易损件等列出清单。 2）除基本配置要求外，各公司还可以根据学校的研究背景及公司的产品特点配置相应的功能模块。 附：谈判报价须知 一、合同主要条款 1）报价及交货方式： 清华大学深圳研究生院实验室交货，国内合同报价为含税人民币价格。 2）付款方式： 80%签订合同后预付，到货验收合格后15%，留5%质保金验收合格之日起一年后付清； 3）交货日期： 合同签订后90个工作日。 二、基本服务要求 序号 项目名称 说明 费用（元） 备注 1 技术服务费 计入总价 2 安装调试费 计入总价 3 运输费用 计入总价 4 保险费用 计入总价 5 使用说明书 1份 6 操作手册 1份 7 工作软件说明书 1份 8 电气原理图 1份 9 质保期 1年 10 售后服务响应时间 2小时内 11 售后到达现场时间 24小时内 1）在用户现场对用户的仪器操作、维修和电气人员免费进行技术培训。培