基于电容传感器的精密压电微位移系统研究.PDF

SEMICONDUCTOROPTOELECTRONICS　Vol．３９No．１ Feb．２０１８ 光电系统 : / DOI １０．１６８１８ ．issn１００１－５８６８．２０１８．０１．０３０ j 基于电容传感器的精密压电微位移系统研究 , , , 李慧鹏 唐若祥 吕亚宁 孙业飞 ( , ) 北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院 北京 １００１９１ : , 摘 要 利用高精度的电容传感器设计了一种带有位移反馈的压电陶瓷精密微位移系统 极 　 　 . , 大地矫正了压电陶瓷的非线性 设计了高精度的位移检测电路 实时采集电容传感器的电容量并 , . , 转换成数字信号反馈给DSP形成位移信息的闭环 结合带有前馈补偿的PID闭环控制策略 矫 , . 正压电陶瓷的非线性特性 进而实现微位移系统精密定位 对设计研制的微位移系统进行试验测 , : , , 试 结果表明 位移检测电路的电容分辨率可达０．０００１F微位移系统定位精度优于５nm 校正后 p 迟滞误差低于１．０％. : ; ; ; ; 关键词 压电陶瓷 电容传感器 闭环控制 微位移 　 PID AD７７４５ 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TP２１２　 A　 １００１－５８６８２０１８０１－０１４６－０５ ResearchonPrecisionPiezoelectricMicroＧdislacementSstemBasedonCaacitanceSensor p y p , , , LIHuien TANGRuoxian LVYanin SUNYefei p g g g ( , , , ) Det．ofInstrumentScienceandOtoＧelectronicsEnin． Beihan Universit Beiin １００１９１ CHN p p g