以图形化奈米碳管及电子束微影技术制作表面传导电子发射显示器之研究.PDFVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 以圖形化奈米碳管及電子束微影技術製作表面傳導電子發 射顯示器之研究 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-011-072- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年10月31日 執 行 單 位 ：國立臺灣科技大學電子工程系 計 畫 主 持 人 ： 李奎毅 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：蔡鎮宏 碩士班研究生-兼任助理人員：李建璋 博士班研究生-兼任助理人員：張軒誠 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 公 開 資 訊 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，2年後可公開查詢 中 華 民 國 101 年 03月 02 日 中 文 摘 要 ： 本計畫以電子束微影技術及光微影技術定義表面傳導電子發 射電極圖形於Eagle2000玻璃基板上。電極之圖形主要是利 用正三角形之三個頂點同時對陽極發射電子再將陽極材料上 之二次電子引導至上電極板。奈米碳管為此陰極及陽極之基 本材料。其製作方式為將鋁與鐵薄膜以電子束蒸鍍法蒸鍍於 Eagle2000玻璃基板上，之後再放入熱化學氣相沉積系統成 長高方向性且垂直於基板之奈米碳管。為了增加陰極電極之 場電子放出特性，我們將氧化鋅及二氧化釕奈米結構分別以 熱化學氣相沉積法及有機金屬化學氣相沉積法與奈米碳管結 合以降低場電子發射之所需電場及增加其穩定性。在成長奈 米碳管方面，我們成功地將高方向性且垂直於基板之奈米碳 管束成長於Eagle2000玻璃基板上。並藉由分析儀器得知以 此方法成長之奈米碳管束具有高數密度之奈米碳管且其具有 高結晶性之性質。由表面傳導電子發射之量測結果得知，我 們發現以氧化鋅附著於奈米碳管所製作出之表面傳導電子奈 米碳管束具有較佳之表現，而以二氧化釕附著之奈米碳管則 具有較低之閾值電場及較高之表面傳導電子之穩定性。本計 畫之實驗成果可提供相關表面傳導電子發射之應用發展。 中文關鍵詞： 表面傳導電子發射顯示器，奈米碳管，二次電子，場電子發 射，熱化學氣相沉積法，微影技術 英 文 摘 要 ： 英文關鍵詞： 附件一 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 以圖形化奈米碳管及電子束微影技術製作表面傳導電子發射顯示器 之研究 計畫類別： ■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 99 －2221－E－011－072－ 執行期間：99 年8月1日至 100年10月 31日 執行機構及系所：國立台灣