镁合金表面微结构阵列的电化学微加工-Core.PDFVIP

物理化学学报(WuliHuaxueXuebao) : 1307 July ActaPhys.-Chim.Sin.,2008,24(7)1307-1312 [Note] 镁合金表面微结构阵列的电化学微加工 蒋利民1,2,* 程泽宇1 杜 楠1 李 维1 田中群2 田昭武2 1南昌航空大学材料科学与工程学院 南昌 2厦门大学化学化工学院 固体表面物理化学国家重点实验室 ( , 330063; , , 福建 厦门 361005) 摘要 研究了镁合金的约束刻蚀微加工方法 通过对电解过程中电极表面氢离子浓度变化以及刻蚀体系对镁 : . 合金的腐蚀速率的测量与分析 对一些可能有刻蚀作用的刻蚀体系进行了研究 选用亚硝酸钠作为产生刻蚀剂 , . 硝酸 的前驱体、氢氧化钠作为捕捉剂、少量硅酸钠作为缓蚀剂的约束刻蚀体系 使用具有规整三维微立方体点 ( ) , 阵结构的模板 在金属镁表面加工出具有与模板互补特性的点阵微结构 复制加工的分辨率为亚微米级 并对刻 , , . 蚀过程机理进行了探讨与分析. 关键词 约束刻蚀剂层技术 镁 三维微加工 电化学 : ; ; ; 中图分类号:O646 ElectrochemicalMicromachiningMicrostructureLatticeon MagnesiumAlloySurface 1,2,* 1 1 1 2 2 JIANGLi-Min CHENGZe-Yu DUNan LIWei TIANZhong-Qun TIANZhao-Wu 1 2 (SchoolofMaterialScienceandEngineering,NanchangHangkongUniversity,Nanchang 330063,P.R.China; StateKey LaboratoryforPhysicalChemistryofSolidSurfaces,CollegeofChemistryandChemicalEngineering,XiamenUniversity, Xiamen 361005,FujianProvince,P.R.China) Abstract:Micromachiningofmagnesiumalloybyconfinedetchantlayertechnique(CELT)wasinvestigated.T