《纳米压印光刻机气动系统的设计》-毕业设计论文（学术).docVIP

毕 业 设 计（论 文） 题目 纳米压印光刻机气动系统的设计 学生姓名： 学生学号： 指导教师： 机械工程 学院 机械设计制造及其自动化 专业 班 2011年6月15日 毕业设计（论文）任务书 专业 机械设计制造及其自动化 班级 姓名 下发日期 20-3-6 题目 专题 主 要 内 容 及 要 求 进 度 及 完 成 日 期 3 月7日 ~ 3月20日 毕业实习 3 月21日 ~ 4月3日查阅资料、熟悉课题 4 月4日 ~ 4月17日 4 月18日 ~ 5月1日 5 月2日 ~ 5月22日 5 月23日 ~ 5月29日整个 5 月30日 ~ 6月15日撰写毕业论文、准备答辩 教学院长签字日 期 教研主任签字 日 期 指导签字 日 期 指导教师给定成绩(30%) 给定成绩(30%) 答辩成绩 （40%） 一种实用新型压印光刻机，涉及微纳加工技术领域，首先，从模板中心位置开始，将初始的真空状态转换至压力状态，在气体辅助压印力作用下，软模具的弹性层在中心位置纵向产生弯曲变形，随后，从模具中心位置向侧方向逐一将真空状态转换至压力状态，模具结构层与抗蚀剂的接触面积不断扩大，直至整个模具结构层与整片晶圆上的抗蚀剂完全接触，模具中的所有微纳米结构腔体被抗蚀剂所充填；最后，所有压力通道的压力保持均匀一致增大，实现液态抗蚀剂材料在模具微纳米结构腔体内的完全充填 关 键 词：整机设计，PDMS，压力分配，气动原理图，管路布置图，气动阀板 ABSTRACT This paper mainly discusses the nano stamping scanner pneumatic system design, it is a kind of practical new-type pressure seal scanner, involving micro-nano processing technology, it is to point to to compressed air to work medium to energy and signal of transmission, to achieve production process automation technology of a mechanized. This paper studies the purpose of pneumatic system is mainly through the pneumatic system control technology, guarantee of a soft film stamped process and stripping process strength evenly. First of all, from the center of the template to the initial state transition to vacuum pressure condition, in the gas pressure seal auxiliary force, soft elastic layers of mould in center of the longitudinal bending deformation, and with soft film can be hold up the strength evenly; Then, in stripping process from the mold center position when the lateral direction to each state transition to pressure will vacuum state, die structure layer and the corrosion agent the contact area expanded constantly, until the whole mold structure layer and the whole piece of silicon wafer in a full access to the filling; Finally, all the pressure of the channel to maintain the uniform pressure increases, and realize the consistency of liquid corrosion agent materials in micro/nano structure mold c